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復権半導体/SCREENホールディングス社長・広江敏朗氏パッケージなど新規注... （2023/12/28 電機・電子部品・情報・通信）

半導体メーカー各社が多様な手法で配線工程の効率化に動いている状況で、パッケージング分野の技術開発では、前工程と後工程の一部が融合している様相だ」 ―半導体製造の熱処理工程向けのフラッ...

SCREENセミコン、熊本に「半導体人材」教育拠点（2023/6/8 総合３）

同社が手がける洗浄装置やフラッシュランプアニール装置などを設置しており、7月までに計8台の装置を整備する予定。

処理能力33%向上光洋サーモシステム、パワー半導体向けランプアニール（2021/11/18 機械・ロボット・航空機２）

【奈良】光洋サーモシステム(奈良県天理市、竹岡伸高社長)は、次世代パワー半導体の8インチウエハーの工程処理に使うコンタクトアニール用ランプアニールシステム...

洗浄装置やフラッシュランプアニール(熱処理)装置を用いて、3年以内の技術確立を目指す。

大日本スクリーン、社内講師に試験制度を導入（2010/6/21）

大日本スクリーンは半導体製造装置の研修拠点「グローバルトレーニングセンター」(滋賀県野洲市)に洗浄装置やレジスト塗布現像装置、フラッシュランプアニール(熱処理)装置など...

大日本スクリーン、今年度に熱処理装置事業で初の黒字化（2009/10/16）

大日本スクリーン製造は2009年度に半導体製造用のフラッシュランプアニール(熱処理)装置事業で初めて黒字を確保する見通しだ。... 大日本スクリーンは05年に直径300ミリメートルウエ...

セリート、次世代微細LSI製造に適した新熱処理手法を開発（2008/6/18）

熱処理法はフラッシュランプアニールと呼ばれる方式を応用した手法で、キノセンアークランプの発光でシリコン基板を高温で短時間に加熱する。

従来はハロゲンランプアニール(熱処理)装置による秒単位の昇温で対処した。... このため、ハロゲンランプ方式以上の急激な昇降温速度が要求された。「凹面サセプタ式フラッシュラン...

▽「小型軽量スパッタレス抵抗溶接用トランス」=愛知産業▽「凹面サセプタ式フラッシュランプアニール装置」=大日本スクリーン製造、ウシオ電機▽「直交配置スライド構造による実用型超スリム旋盤...