記事検索結果

堀場製作所/高精度に連続測定微量ガス分析計（2024/2/19 新製品フラッシュ２）

堀場製作所は、一酸化炭素や二酸化硫黄などの濃度を高精度に連続測定する微量ガス分析計「AP―380シリーズ」を発売した。... ガスの種類別に測定部をモジュール化し、既存設備への組み...

堀場、微量ガス分析計の測定部をモジュール化（2024/2/5 機械・ロボット・航空機１）

多様なニーズに柔軟対応【京都】堀場製作所は、一酸化炭素や二酸化硫黄などの濃度を高精度に連続測定する微量ガス分析計を発売した。ガスの種類別に測定部をモジュール化し...

シャープ、イオン移動度分析装置を開発超微量ガスを素早く識別（2023/1/25 電機・電子部品・情報・通信１）

大気中の超微量のガス成分を素早く識別できる。... 開発したIMS装置は、分析対象のガスを大気中電子放出デバイスに取り込み、イオン化する。... 同装置を用いて酢酸の成分を分析した場合、0・1ppb&...

堀場、半導体製造歩留まり改善微細化対応で新製品（2022/12/13 機械・ロボット・航空機１）

チャンバー内のガス成分を監視する四重極形質量分析計と、チャンバー内でウエハーの温度制御に用いるガスの圧力制御を行うシステムを投入。... ガス分子の測定スピードを従来機比約2倍に向上させた。... ウ...

東大、多電極イオンゲル分子センサーで微量ガスを同時検出（2022/3/18 科学技術・大学）

東京大学の田中貴久助教と内田建教授らは、アンモニアやエタノールなどの微量ガスを多電極イオンゲル分子センサーで同時検出することに成功した。イオン液体にガスを吸わせて電極表面での反応を...

フジキン、集積化ガス供給システムを小型化-チャンバー直結で半導体の歩留まり改善（2016/6/6 機械・ロボット・航空機２）

半導体製造プロセスに各種ガスを供給する。... ガス流量は従来限界値から6割高めた。 ... しかし最先端半導体プロセスでは、成膜やエッチングに使う各種ガスの高速切り替え性が追求され...

産業春秋/「あかつき」（2016/4/14 総合１）

観測カメラなど6台の観測装置を駆使し、地表や微量ガスなどを監視することで金星の大気循環を3次元で可視化する▼地球に最も近い惑星で、大きさもほぼ同じ金星は歴史的に”双子星“と言わてきた。

日本電子、多重周回飛行時間質量分析計−省スペースと高分解能両立（2016/1/12 電機・電子部品・情報・通信）

日本電子は省スペース化と高い質量分解能を両立した、微量ガス分析向け多重周回飛行時間質量分析計「JMS―MT3010HRGA=写真」を発売した。... 質量分離が困難だった一酸化炭素(C...

あかつき、金星軌道に−惑星探査「仲間入り」（2015/12/10 総合３）

【解説/地表・微量ガス監視、大気循環の仕組み解明】金星探査機「あかつき」は今回、当初の計画より金星からの距離が遠い位置を回る楕円(だえん)軌道となる。.....

JAXA、探査機「あかつき」を金星周回軌道に再投入−来月7日、5年越し成就期待（2015/11/13 科学技術・大学）

金星周回軌道上で金星の地表や雲、微量ガスなどを監視し、金星の大気循環を3次元で可視化する。

東芝、吐く息で脂肪燃焼量など測定できる装置を開発（2014/3/24）

東芝は半導体製造の分析技術を応用し、人が吐く微量ガス濃度を測定する呼気分析装置を開発した。... 微量ガスを0・1ppmレベルの検出能で分析する手法としては、ガスクロマトグラフィーが一般的。... 東...

テックコーポ、ナノバブルで洗浄力向上-電解水生成装置（2013/7/5）

両者を組み合わせ、電解水生成の際に発生する微量ガスをナノバブル化して電解水中に戻すことで従来以上の効果が得られた。

また大気中の微量ガスによる電子部品・機器の腐食試験では、12月に導入する新装置でオゾン評価にも対応する。

兵庫発世界へ−ニッチトップを目指せ(11)エフアイエス（2010/5/20）

同社は空気中の微量ガスを高感度に検出するニーズを追求して今日の地位を築いた。そしてその根幹となる技術が半導体ガスセンサーだ。... 従来ppbレベルのガス検出装置は大型なものしかなく、通常はガス発生現...

エフアイエス、ガスセンサーに自社ブランド品投入（2008/4/18）

いずれも自社の半導体ガスセンサーを搭載、濃度5ppb(ppbは10億分の1)の微量ガスを検知できる。... 注入した混合ガスを小型カラムで分離。微量ガスを半導体ガスセンサーで濃度測定す...