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ギガフォトン、EUV用LPP光源集光ミラー反射率改善（2017/9/25 機械・ロボット・航空機２）

半導体露光用エキシマレーザー大手のギガフォトン(栃木県小山市、浦中克己社長、0285・28・8410)は、開発中の極端紫外線(EUV)スキャナー用レーザー生成プラズマ&...

ギガフォトン、EUVパイロット光源の稼働率量産実現レベルに（2017/7/17 機械・ロボット・航空機１）

ギガフォトン(栃木県小山市、0285・28・8410)は極端紫外線(EUV)パイロット光源で稼働率80%以上の稼働率を確認した。現在開発中のEUVスキャナー用レ...

ギガフォトン、LPP光源で出力250ワット達成（2016/7/7 機械・ロボット・航空機１）

半導体露光用エキシマレーザー大手のギガフォトン(栃木県小山市、都丸仁社長、0285・28・8410)は開発中の極端紫外(EUV)スキャナー用レーザー生成プラズマ(...

ギガフォトン、安定発光を達成（2015/12/23 機械・ロボット・航空機）

ギガフォトン(栃木県小山市、0285・28・8410)は開発中の極端紫外(EUV)スキャナー用レーザー生成プラズマ(LPP)光源で、出力108ワットの安...

ギガフォトン、24時間連続稼働を達成（2015/10/6）

ギガフォトン(栃木県小山市、0285・28・8410)は開発中の極端紫外(EUV)スキャナー用レーザー生成プラズマ(LPP)光源で、平均60ワットの24...

半導体露光用エキシマレーザー大手のギガフォトン(栃木県小山市、都丸仁社長、0285・28・8410)は、開発中の極端紫外(EUV)スキャナー用レーザー生成プラズマ...