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記事検索結果
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フッ化クリプトン(KrF)とi線では300ミリメートルと200ミリメートルの両方のウエハーに対応できるようにする。
ニコンは24年中に計3機種投入するが、さらに露光の波長別にフッ化アルゴン(ArF)ドライ、フッ化クリプトン(KrF)、i線の3機種の装置を投入。... KrFやi線はパ...
レジストポリマーは主力のフッ化クリプトン(KrF)用ポリマー向けに加え、超低メタルモノマーや重合開始剤といった川上の素原料と一体で提案。
同社は1997年に同材料事業を立ち上げ、直江津工場(新潟県上越市)で当時最先端のフッ化クリプトン(KrF)フォトレジストの生産を開始。
特にEUV(極端紫外線)などの先端材料が中心になるが、既存のKrfやArfも車載用途で需要が高まっているので積極的に増強していく」 ―石化再編の機運や脱炭素対応の重要...
複合現実(MR)用ヘッドマウントディスプレーを装着してKrF半導体露光装置内に入ったかのような体験ができるコーナーも用意する。
技研精機が手がける部品はi線やフッ化クリプトン(KrF)を用いた半導体露光装置に使われる。i線やKrFは最先端技術ではないが、パワー半導体向けなどで需要が広がる。
中央演算処理装置(CPU)などにはさまざまな線幅が共存しており、露光装置で言えばi線やKrFなど旧世代も使う。
キヤノンは13日、光源にフッ化クリプトン(KrF)を使う半導体露光装置の生産性向上に成功したと発表した。... 同社の既存のKrF露光装置「FPA―6300ES6a...
光源として、EUV(波長は13・5ナノメートル)、ArF液浸(同193ナノメートル)、ArFドライ(同193ナノメートル)、KrF(248ナノメ...
i線に続く非先端技術のフッ化クリプトン(KrF)の引き合いも強く、両装置の販売台数は前年度比10台増の24台の予想だ。... ニコンは露光装置のラインアップとして光源にフッ化アルゴン&...
ただ、半導体はEUVだけではできず、フッ化アルゴン(ArF)液浸、ArFドライ、フッ化クリプトン(KrF)、i線まで含めた装置が必要になり、引き続きそれらの装置の改善も...
中古装置を中心に、光源にi線、フッ化クリプトン(KrF)を用いた非先端の装置が伸びる。... 同社の主要顧客がいるとみられる米国では、既にi線、KrF、ArFドライの装置のほか、ArF...
光源にi線、フッ化クリプトン(KrF)を用いた比較的古い技術だが、IoT(モノのインターネット)や人工知能(AI)の進展、電動車の普及などを背景に半導体...
「極端紫外線(EUV)など先端材料に加え、フッ化クリプトン(KrF)をはじめ既存材料も伸びた」と手応え。
グループから100人超応援 ―i線(波長365ナノメートル〈ナノは10億分の1〉)、フッ化クリプトン(KrF)両装置の2020年の販売台数は前年比40...
長期的に右肩上がりの流れは変わらないのでは」 ―高粘度フッ化クリプトン(KrF)用フォトレジストが好調です。 ... KrFはそのポテンシャルを持ち...
