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12月1日に3次元実装向け直接描画露光装置「DW―3000=写真」を発売する。プリント配線板用の直接描画装置や印刷用刷版描画(CTP)装置の技術を応用し、レーザー光でウエハー上...

ニコンは13日、液晶露光装置の新製品3機種を発売したと発表した。

装置各社は“半導体ビッグスリー”の要求をくみ取れるかが生命線になっている。... だが、装置各社とチップ各社は置かれている立場が違う。... 結果、日本の装置メーカーは露光装置など一部を除き、世界中に...

工場内には、巻き作業を行う卓上装置が複数台並ぶ。... 半導体露光装置向けなど、加速する小型化要求に応えようと改良を重ねた努力のたまものだ。

加工分解能は露光用の光源の波長に依存する。現在、真空環境下で利用する真空紫外光(EUV、波長13・4ナノメートル)を光源とする高額な露光装置を使えば、20ナノ―30ナノメートルの分解能...

エルピーダメモリは広島工場(広島県東広島市)に次世代の半導体製造技術のEUV(極紫外線)露光装置用の新棟の建設を検討する。すでに工場に装置を設置する余地が少ないため。....

新たにソルダーレジスト露光装置なども導入した。

ニコンは、MEMS(微小電子機械システム)用の新型の露光装置を市場投入する。... 露光範囲を広げた投影レンズを搭載し、性能を高めた「NES2―h06」は9月に受注を始める予定で、価格...

ウシオ電機は、高輝度発光ダイオード(LED)製造用の一括プロジェクション露光装置「UX4―LEDs FFPL200」の出荷を開始した。... また150ミリメートルウエハー対応...

キヤノンは7日、半導体製造の後工程向け露光装置市場に参入すると発表した。... 半導体後工程向け露光装置市場は米ウルトラテックが首位。キヤノンは前工程向け露光装置で培った技術を活用して市場の開拓につな...

【川越】常陽機械(埼玉県川越市、塚本稔社長、049・238・0001)は、外付けロボットによるプリント基板の自動出し入れを可能にした両面自動整合露光装置「KJWR640」を完成した。....

恒温恒湿空調機、恒温空調機、精密チラー(冷却水循環装置、写真)の3タイプを用意。... また恒温空調機は露光装置などの製造装置の内部の温度を調節する。... 精密チラーはレーザー加工機...

半導体用露光装置の販売台数は前期比67・3%増の82台。

組立工程の一本化は、半導体製造工程でウエハー上の不要な膜の除去などに用いる「エッチング装置」と呼ばれる装置で試験的に開始した。今後、ほかの装置についても採用も検討する。 ... 外資...

コマツは25日、ウシオ電機と折半出資していた半導体露光用光源メーカーのギガフォトン(栃木県小山市)について、5月中旬をめどに完全子会社化すると発表した。... ギガフォトンは、半導体装...

交換レンズ製造の宇都宮工場と半導体露光装置製造の宇都宮光学機器事業所が復旧し、被災した全工場が操業を再開。

◆宮城の2拠点再開 ニコン 東日本大震災で被災したカメラ製造の仙台ニコン(宮城県名取市)、液晶露光装置部品製造の宮城ニコンプレシジョン(宮城県蔵王町)が...

半導体製造装置向け部品などの機械加工を手がける千田精密工業(岩手県奥州市)は22日に本社工場が本格稼働した。... ニコンは宮城県、栃木県、茨城県のカメラやカメラ用レンズ、液晶露光装置...

同一の露光装置を使う場合、従来より露光時間を約40%短縮できるという。... 露光時間短縮による生産効率の向上を訴求することで拡販する方針で、受注状況を見て中国などの能力増強も検討する。...

半導体製造装置や液晶露光装置などに使われる小物部品から始め、硬質と普通アルマイトで処理する。

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