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前期98億円の営業赤字だった産業機器その他部門は「半導体露光装置事業の整理整頓が昨年で済んだので今期から黒字を狙える」(田中稔三副社長)と185億円の黒字化を目指す。 ...
実際、半導体製造の肝とされ、回路を形成する露光装置は日系半導体メーカーのシェア低下とともに失速している。かつてはニコンとキヤノンが2強を形成していたが、最先端の露光装置では今やオランダのASMLが7割...
1日に開幕した半導体の製造装置・材料の展示会「セミコンジャパン」の会場でキーワードとなるのが次世代の露光技術「EUV(極紫外線)」と半導体の回路やチップを縦方向に積み大容量化につなげる...
特に露光光源に極端紫外線(EUV)光源を使う最新リソグラフィー技術用素材などが注目されている。... これを実現する露光技術がEUVで、現在主流になっているフッ化アルゴン(Ar...
露光装置との接続時のウエハー処理能力は毎時350枚以上で、従来比100枚以上高まる。2011年に装置価格数億円で市場投入し、装置購入済み顧客には数千万―数億円で能力アップの改良を受け付ける。 ...
ウシオ電機は1日、パワー半導体向けに直径8インチウエハーを一括投影できる露光装置「UX4―ECO」を発売したと発表した。分割投影する露光装置(ステッパ)に比べて生産性は2倍、価格は半額...
半導体露光装置などの産業機器その他部門は20億円の営業赤字(前期は759億円の赤字)を見込むが、「第4四半期次第で黒字転換する可能性もある」(同)とした。
月内にもプリント基板の露光プロセスに用いる直接描画方式の紫外線(UV)露光装置「MLI―3000シリーズ」を発売する。... 伯東はこれまで、ガラスマスクスケーリング、フィルムマスクス...
【姫路】フェニックス電機(兵庫県姫路市、田原廣哉社長、079・264・5711)は、日本精工から液晶テレビのカラーフィルター製造用露光装置6台分のランプシステムを受注した。... 受注...
半導体市況の回復とともに、半導体テスター(試験装置)業界の動きが慌ただしくなってきた。... 微細化投資は露光装置だけでなく、テスター需要も押し上げる。... テセックは個別半導体&#...
ニコンにとってインテルは先端露光装置の最重要顧客であり業績に与える影響も大きいだけに、今後の行方が注目される。 ... 最先端の露光装置ではニコンとASMLの実質2社の争いが続くが、ニコンは1...
外資系2社のロジック系半導体テスター(試験装置)の生産が堅調だ。... テスターは露光装置などに比べて半導体メーカーの投資抑制の対象となりやすい。
クリーンルーム内で露光装置などを用いて荷重センサーを試作し、微小電気機械システム(MEMS)加工についての理解を深める。
EUV露光装置は回路線幅16ナノメートル(ナノは10億分の1)以降の半導体製造での利用を見込む。露光装置首位のオランダのASMLは10年にEUV露光装置の試作量産機、12年に量産機を出...
クレステックは東北大学などと共同で、高精細な電子線描画技術を応用した半導体製造用露光装置の開発を目指す。 電子線径2ナノメートル、最小線幅8ナノメートルの描画技術を持つクレステックは、研究開発...
ウシオ電機は26日、発光ダイオード(LED)チップ製造用で、直径6インチウエハーを一括投影できる露光装置「UX4―LEDs=写真」を発売したと発表した。... 従来の分割投影露...
【立川】ナノシステムソリューションズ(東京都多摩市、芳賀一実社長、042・339・8440)は従来機比5倍の速度でレジストの微細3次元加工ができる高速マスクレス露光装置「D―light...
材料開発には実際の露光装置を使用した試験が必要で、この回数を増やすことが開発スピードを左右する。このため実際にEUV露光装置を持つ、米国の半導体製造技術研究組合のSEMATECHなどのコンソーシアムと...
