電子版有料会員の方はより詳細な条件で検索機能をお使いいただけます。

529件中、25ページ目 481〜500件を表示しています。 (検索にかかった時間:0.017秒)

栗田工業は12日、半導体プロセス向けの超純水から、半導体シリコンウエハーが酸化する原因となる過酸化水素を除去する装置「ナノセイバー」を開発した。... 同社ではより微細な次世代半導体プロセス向けの超純...

特に屈折率の高い純水を用いて解像度を高めるArF(フッ化アルゴン)液浸露光装置などは製造コスト削減につながるため、顧客からの問い合わせは多い。

圧力差約1気圧で毎分300cc程度の純水を流すと高輝度LEDからの発熱を除去できる。

露光装置メーカーは40ナノメートル台の先端半導体製造では、露光装置の投影レンズとウエハー間に純水を満たしてNAを高める「液浸」技術を採用。30ナノメートル台の次世代半導体製造では、液浸露光時に純水より...

ウエハーとレンズの間を純水で浸す「液浸」技術を利用する。純水の屈折率で照射光の波長が短くなり微細加工が実現する。

この状態で純水洗浄部、乾燥部さらにアルカリ洗浄部に搬送する。

河川や農水路などの水を生かせ―。... 小型エンジンポンプを搭載し、日量1000―2000リットルの飲み水や医療用純水を製造できる。... 災害時の水は備蓄で対応する自治体も多いが、大量確保が難しいの...

純水、超純水ラインの前処理や電子部品メッキ液の不純物除去、半導体の研磨廃液などを濾過できる。

洗浄用の純水を改質し超音波洗浄の範囲と能力を高める。純水中の直径20マイクロメートル(マイクロは100万分の1)以上の気泡を取り除くことで、洗浄槽内に超音波が行き渡る範囲が拡大。......

【熊本】グリーンサイエンス・マテリアル(熊本市、金子敏和社長、096・289・7770)は、藻類のスイゼンジノリから抽出した多糖類「サクラン」を化粧水や美容液の原料として10月にサンプ...

【東洋紡エンジニアリング】 東洋紡エンジニアリング(大阪市北区、南齋生二社長)は、2種類の高純水製造装置を出品する。逆浸透(RO)膜を使ったRO純水製造装置「T...

神鋼環境ソリューションの水電解式高純度水素発生装置「高圧型水素サーバー」は、純水を電気分解し工場などで水素を容易に生成する。... 同社は水電解式水素発生装置のトップメーカーとして、普及に向け低コスト...

半導体やLCDの製造装置部品に付着した成膜材などをサンドブラストで取り除き、純水で洗浄する事業を行う。

実用化している光源で最も波長が短いのがArFで、回路線幅40ナノメートル台からは空気中でのドライ露光から屈折率の高い純水中での液浸露光に移った。レンズとウエハー間に純水を満たして明るさ(開口数...

ゼロケミはボイラ用以外の純水装置などにも採用され始めている。... 工場内の軟水、純水、脱気、濾過など用水処理や機能水処理、廃水・リサイクル処理装置分野に業容拡大していく。すでに薬品を使わず純水を製造...

従来の空気中での露光に代えて、高い屈折率を持つ液体(純水)中で露光を行うため液浸と表現される。

産業春秋/紙の文化 (2008/8/11)

冷やかし半分ながら手仕事のすばらしさを実感できた▼そういえば、昔あった半透明の水うちわも、ごく薄い和紙にニスを塗ったものだが、紙でできているとは思えなかった。扇風機がまだ珍しかったころ、水に浸して顔の...

純水製造装置の熱交換機向けにチタン部品を出荷の予定だ。

32ナノメートルプロセスは今まで通り投影レンズとウエハーの間に純水を満たして解像度を上げるフッ化アルゴン(ArF)液浸露光装置で対応できる。

量産を始めた43ナノメートルプロセスは、露光装置に投影レンズとウエハー間に純水を用いて解像度を上げる液浸露光を用いている。

ご存知ですか?記事のご利用について

カレンダーから探す

閲覧ランキング
  • 今日
  • 今週

ソーシャルメディア

電子版からのお知らせ

日刊工業新聞社トピックス

セミナースケジュール

イベントスケジュール

もっと見る

PR

おすすめの本・雑誌・DVD

ニュースイッチ

企業リリース Powered by PR TIMES

大規模自然災害時の臨時ID発行はこちら

日刊工業新聞社関連サイト・サービス

マイクリップ機能は会員限定サービスです。

有料購読会員は最大300件の記事を保存することができます。

ログイン