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記事検索結果
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独自開発の数値制御(NC)穴あけ装置や露光装置などを駆使した専用ラインを新設。... 【リードタイム7日】 従来、少量品と量産品は露光速度の違いから、別々の製造ラインを用いてF...
露光装置は回路線幅を微細化するためのカギ。... 「ムーアの法則」に限界が近づく中、露光装置2強の一騎打ちに変化が出てきた。 ... EUV装置はArF液浸露光装置とはまったく異なる機構。
オランダのASMLは、光源に極紫外線(EUV)を使う次世代の半導体露光装置を2010年に出荷する。... 「今年出荷した2回露光(ダブルパターニング)方式のArF液浸露...
露光装置などの製造設備を大きく変更しなくても32ナノから20ナノ台に微細化できる見通しをつけた。... 微細化の鍵を握る露光装置はフッ化アルゴンエキシマレーザー(ArF)液浸露光装置で...
ガチガチの特許の会社というイメージも強いが、従来はそれで成功してきたが今後はこのままではいけない」 ―既存事業では次世代の半導体露光装置開発も注目です。 「ArF液浸露光装置がうまくい...
ニコンは次世代半導体製造に利用する極端紫外線(EUV)光源の露光装置の開発を見直す。... 線幅22ナノメートル以降でEUV露光装置を見据えている。 ... EUV露光装置は真...
既存の50ナノメートルプロセスの製造装置を活用して、当初投資額を最小限に抑える。... 50ナノや40ナノ台DRAMを生産するには、1台当たり40億―50億円のフッ化アルゴンエキシマレーザー(...
しかし、半導体露光装置の廃棄評価損が拡大し、営業損益は同120億円の赤字から300億円の赤字(前年度481億円の黒字)に、経常損益も同160億円の赤字から360億円の赤字(前年...
売上高は事務機器や半導体露光装置などの販売低迷で前年同期比19・5%減の1663億円。 ... 事務機器本体の需要回復が遅れるほか、半導体露光装置などの売り上げ減少も見込む。
次世代露光装置をめぐるASML、ニコン、キヤノンの開発競争に影響を及ぼしそうだ。 ... ASMLはこの契約を機に、次世代露光装置の採用にもつなげていく。最新の露光装置は一台40億―50億円に...
【姫路】ヘリオステクノホールディングは液晶パネル製造装置メーカー・ナカン(千葉市)を買収したのに伴い、液晶表示装置(LCD)関連事業を強化する。ナカンの配向膜塗布装置を...
熱処理装置大手の日立国際電気は「(多数ウエハーを同時処理する)バッチ式で縦型の装置を想定」(同社関係者)しており、工場や生産ラインで装置を組み付ける方法を検討。... ...
【厚木】ブイ・テクノロジーは液晶パネル向けの露光装置など製造装置事業を拡充する。... これに対して、露光装置市場は最大で年約2500億円に達するという。... 同社の09年3月期の売上高142億円の...
東京エレクトロンは露光工程に付随する製造装置のトップメーカーで、最新の露光装置に対応した技術・製品の開発を加速する。 ... ArF液浸露光装置の価格は40億―50億円と言われる。... 東京...
