- トップ
- 検索結果
記事検索結果
40件中、2ページ目 21〜40件を表示しています。 (検索にかかった時間：0.021秒)
先端材料に加え、フッ化アルゴン(ArF)やフッ化クリプトン(KrF)フォトレジスト、3次元(3D)NAND型フラッシュメモリー向け製品など汎用品も期待で...
回路の微細化や多層化で、日本勢の強みである高品質材料のニーズが拡大している。 ... フッ化アルゴン(ArF)液浸と厚膜フッ化クリプトン(...
富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズの静岡工場(静岡県吉田町)に、フッ化アルゴン(ArF)用レジストの調合タンクやフィルターを含む充填設備を新設する。... 半導体...
今後、高精細化や大型化が進めば優位になる。 ... 事業をスリム化し、最先端の液浸タイプのフッ化アルゴン(ArF)露光装置開発を大幅に縮小する。 現...
新装置はフッ化クリプトン(KrF)を光源とし、直径100ミリ―200ミリメートルのウエハーに対応する。
先端のフッ化アルゴン(ArF)液浸装置の開発につまずき苦戦してきたが、ここに来て同社が得意とするi線(波長365ナノメートル〈ナノは10億分の1〉)、フッ化クリプトン&...
モノのインターネット(IoT)の普及を背景に同社が手がける光源がi線、フッ化クリプトン(KrF)の両装置需要は堅調とみて約5年ぶりの大型投資に踏み切る。... キヤノン...
半導体デバイスの生産増や微細化の進展を背景に、アジアと米国で需要が伸びている。 ... 新工場ではフッ化クリプトン(KrF)エキシマレーザーやフッ化アルゴン(...
新たに市場投入したフッ化アルゴン(ArF)エキシマレーザーを光源に用いる露光技術に対応するペリクルの供給体制を整えるのが目的。... 露光光源はg線、i線、フッ化クリプトン(K...
今後の増産の中心は、回路線幅(ハーフピッチ)45ナノメートル(ナノは10億分の1)世代の半導体製造向けを中心とした先端のフッ化アルゴン(ArF)エキシマ...
回路が微細化すると、同じチップ寸法の中に倍近いトランジスタを集積できるため、その分、高性能化が図れる。... 露光光源は波長436ナノメートルの可視光線「g線」から同365ナノメートルの紫外線「i線」...
フッ化アルゴン(ArF)エキシマレーザー光源の液浸露光装置の引き合いが強い」 ―先端分野に限っては、受注が期待できると言うことでしょうか。 ... 一方で、ArFドライ...
メーカーは回路微細化と生産効率化で単価を下げる必要がある。DRAMは業界再編が進んで供給過剰が解消されれば、徐々に価格も回復すると思う」 ―先端半導体製造用のフッ化アルゴン(ArF&#...
だが、回路形成を担う製造前工程の中でも、露光装置が微細化のカギを握るため、先端技術を搭載した装置の引き合いは強い。... 特に屈折率の高い純水を用いて解像度を高めるArF(フッ化アルゴン...
半導体回路をウエハーに焼き付けるフッ化アルゴン(ArF)液浸露光装置(用語参照)の販売が好調だ。... 半導体露光装置も光源にi線やフッ化クリプトン(KrF&#...
同じチップ寸法で集積度が上がればその分、高速化、低消費電力化が図れる。... このうち微細化を進める先端プロセス開発では、前工程の中で回路パターンを焼き付ける「露光」がカギを握る。... 露光光源の短...
だが、ニコンで精機カンパニープレジデントを務める牛田一雄専務執行役員は「回路を微細化した先端プロセスでは戦略的な投資が続く」とし、回路線幅40ナノメートル(ナノは10億分の1)世代の先...
「光源波長365ナノメートル(ナノは10億分の1)のi線を用いた露光装置は、同193ナノメートルのフッ化アルゴン(ArF)露光装置を市場投入していなかったこともあり、0...
