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記事検索結果
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今後は平坦度をさらに向上させるとともに、大きいサイズでも加工できるよう、技術開発を進めていく。 ... 今秋までをめどに、平坦度をマイクロメートル単位に抑えるとともに、さらに大きいサ...
【平坦度50マイクロメートル以下】 00年以降、半導体シリコンウエハーの直径は、8インチから12インチへ移行。... ウエハーの平坦(たん)度も100マイクロメートル(...
ミラー用基板の表面平坦度を原子レベルまで平滑化し、その上に高品質なミラー膜を形成することで99・999%レベルの高い反射率を達成した。