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記事検索結果
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露光装置はウエハー上に回路パターンなどをレーザー光で焼き付ける装置で、ニコンはその中でも先端とされるArF液浸を強みとする。
この複合体に電圧をかけると最高で毎秒約700マイクロメートルの速さで移動し、レーザー光を当てるとCNTが発熱して物質を放出する。 ... ゴールでレーザー光を当てると、その場で酵素反...
新型機は多関節ロボットでのレーザー切断に比べ、約3倍の速さで加工できる。自社開発の固体レーザー発振器「トルディスク」を搭載し、従来の二酸化炭素(CO2)レーザーよりもエネルギー変換効率...
観測機を発電機に取り付け、レーザー光を使って最長400メートル先の風向きや強さ(風況)を風が到達する前に把握。... ウィンドアイリスは、レーザー光を照射し、空中の微粒子から反射してき...
レーザー光をCFRPに照射してサーモグラフィーによって温度変化を計測、熱伝導率の計算に必要な熱拡散率を算出する。... この装置はCFRPの厚さや大きさなどに応じ、適切な周期でレーザー光を照射して加熱...
H2Aに載せる現行の光学式ジャイロは、ガラスとレーザー光を組み合わせたタイプ。... 宇宙機用ジャイロは一般的に1個搭載され、レーザーを光源に使った光学式が主流。... レーザーを発光するのに高電圧を...
従来より高強度のレーザー光を制御できることから、レーザー加工速度の向上や感度の高いレーザー計測を実現する。... 両者はレーザー光でミラーが破壊されるメカニズムを解明。結晶化しにくいアモルファス膜ほど...
白色光観察用レーザーで従来通りの観察ができる。表層情報を取得する短波長の狭帯域光観察用レーザーを組み合わせることでコントラストを高めた強調画像を得ることに成功した。 ... 2種類の...
≪自動車≫ 【浜松ホトニクス/「微小電気機械システム」応用】 浜松ホトニクス 微小電気機械システム(MEMS)技術を応用した超小型...
材料科学技術振興財団は、国内の科学技術の普及や向上に寄与した研究者らに贈られる「第12回山崎貞一賞」の受賞者に、レーザー光を用いたフォトルミネッセンスによる半導体結晶計測評価法の開発と標準化を行った宇...
パナソニックプレシジョンデバイス(熊本県和水町、0968・86・4321)は出力1ワットの緑色レーザー光源ユニット(写真)を開発し、2013年1月にサンプル出荷を始める...
北海道大学大学院工学研究院の樋口幹雄准教授らの研究チームは、太陽光を効率よくレーザー光に変換できる新たな材料を開発した。... 従来材料のYAGレーザーは、同波長領域でほとんど吸収がない。 &...
超大容量光通信や超精密測定、量子暗号といった、光を利用した応用分野の発展につながると期待される。... 光の位相を測定する際は、波の形を変えた光に参照用の光を重ね合わせて位相を検出する。... 一般的...
大阪府立大学21世紀科学研究機構ナノ科学・材料研究センターの飯田琢也講師らの研究グループは、光の対称性と強弱が変化する状況をつくれば、その「揺らぎ」を利用して、特定のナノメートルサイズ(ナノは...
東京光電子工業(東京都練馬区、坂田良明社長、03・3922・7121)は、主力のレーザー式寸法測定器事業で低価格の戦略機種を開発、10月に投入する。... 新機種「LMG―D3」は、レ...
対象物にレーザー光を当て、物体からの反射光と物体に当てない光源からの光(参照光)を組み合わせて情報をカメラに記録し、計算処理して画像を再生する。 光源にフェムト秒パル...
今回、赤外光と可視光の二つのレーザー光を試料に同時に照射する「和周波発生分光法」を改良し、デバイス動作中で特定の有機層からの信号だけを増強して捉えることに成功した。
ただ、回路を10ナノメートルまで微細化すると、今の露光装置に用いているレーザー光の波長の方が太くなり、微細回路を形成できない。
