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特定の会社と組むと使用部品がその会社のものに限られるなど縛りが多くなる」 ―露光装置の需要をどう見ますか。「液晶テレビは価格下落に連れて販売台数が急増しているが、液晶用露光装置の需要...

三明、半導体製造装置向けテスト加工・評価環境を整備（2008/1/31）

関連設備を導入したのは、半導体製造装置を製造する三明電子産業(静岡市清水区)。新たにクリーンルームを設け、テスト加工用として光ナノインプリント技術による回路パターン転写装置や、スプレー...

日本バルカー工業は摩耗による異物の発生を大幅に抑えた薄型パネル製造装置向け密閉部材(シール材)を発売した。... 新材料は液晶やプラズマ・ディスプレー・パネル(PDP)...

ファイルいい話/光学技研−グラントムソン偏光制御素子（2008/1/25）

半導体加工の微細化に伴い、「露光装置で必要なビームの偏光解析に」(橋本忠幸取締役)と開発。

松下とルネサス、次世代半導体事業の業務提携で大筋合意（2008/1/17）

回路をウエハーに焼き付ける露光装置の光源が半導体の回路線幅より太くなり、微細回路を形成できない。露光を2回に分けるなど新たな製造技術開発が求められる。

ニコン、東北に液晶用露光装置の部品工場を新設（2008/1/14）

ニコンは08年度、東北地区に液晶用露光装置の部品製造を担う新工場を設置する。既存の空き工場を賃貸して、その工場内にクリーンルームを設け、液晶用露光装置のユニット部品を製造する。... これらの需要に対...

【ニコン・苅谷道郎社長/勝負の年】デジタル一眼レフカメラ、半導体露光装置とも好調で収益は過去最高の見通し。

東芝、来年度半導体に3500億円投資−「第5工場」四日市が有力（2008/1/1）

このため、回路をウエハーに焼き付ける露光工程に1台40億円するフッ化アルゴン(ArF)液浸露光装置を複数台導入。これを含め100台近くの露光装置を導入する。 ... 同30ナノ...

経営ひと言/台湾TSMCのシャンイー・チャン開発担当上席副社長（2010/2/26）

光源に極紫外線(EUV)を使う次世代露光装置の搬入に使うクレーンが「特注品で190万ユーロ(約2億3000万円)もした」とか。 EUV露光装置単体の価格も一台8...