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キヤノン、処理能力毎時200枚超の露光装置（2012/4/16）

キヤノンは光源にKrF(フッ化クリプトン)を採用した半導体露光装置「FPA―6300ES6a=写真」を発売した。... KrFは露光波長が248ナノメートル(ナノは10...

半導体素材各社、生産拡大にスイッチ（2010/11/24）

露光光源はg線、i線、フッ化クリプトン(KrF)、ArFの4種類あり、全露光光源に対応したラインアップを持つのは国内では旭化成のみ。

g線対応レジストからi線対応、フッ化クリプトン(KrF)エキシマレーザー対応と続き、現状の最先端はArF対応レジストだ。

テクノ学び隊(144)きょうのテーマ−EUV露光技術（2009/1/15）

露光光源は波長436ナノメートルの可視光線「g線」から同365ナノメートルの紫外線「i線」、同248ナノメートルの「フッ化クリプトン(KrF)エキシマレーザー」へと順に移行。

一方で、ArFドライ露光装置のほか、普及機に相当するフッ化クリプトン(KrF)やi線を光源に採用した露光装置は、受注が弱含んでいる」 ―受注低迷はメモリーの市況悪化が背景にあり...

受注低迷期を行く(4)ニコン取締役兼専務執行役員・牛田一雄氏（2008/11/18）

「露光光源にi線やフッ化クリプトン(KrF)を用いた1世代前の露光装置は増産目的のため受注が減少。

ケンウッドブルーレイディスクに採用されている「ドルビートゥルーHD」といった最新の音声フォーマットに対応したAVコントロールセンター「KRF―V9300H―S」を上旬に発売する。

需要を読む(11)ASML市場調査部長のアントニオ・メスキーダ氏（2008/10/27）

また、ArF液浸露光装置が必要なのはトランジスタ配線層が30あるうち4―5層のみで、残りの25―26層は装置価格の安い一世代前のKrF(フッ化クリプトン)やArFドライ露光装置を用いる...

日本モンサント、国内研究農場で遺伝子組み換え作物2品種（2008/8/29）

(中野徹二) KRFで栽培されている遺伝子組み換え作物は搾油用大豆「ラウンドアップ・レディー・大豆40―3―2系統」と、害虫に耐性がある「イールドガード・コーンボーラー・トウモ...

ニュース拡大鏡/ArF液浸露光装置、販売好調（2008/8/22）

半導体露光装置も光源にi線やフッ化クリプトン(KrF)を採用した一世代前のタイプの受注・販売は徐々に減少している。 ASMLは07年10―12月期の露光装置販売台数50台...

装置が支える半導体・液晶(4)32ナノ、解像度向上が課題（2008/6/2）

露光光源の短波長化は、チップ上の回路線幅がマイクロメートルからナノメートル単位に微細化するに連れて、波長436ナノメートルのg線から同365ナノメートルのi線、同248ナノメートルのフッ化クリプトン&...

装置が支える半導体・液晶(3)先端向けArF液浸伸びる（2008/5/19）

露光光源は半導体回路の微細化が進むに連れて、波長436ナノメートルの可視光線「g線」から365ナノメートルの紫外線「i線」、さらに248ナノメートルの「フッ化クリプトン(KrF)エキシ...

販路開拓コーディネート事業(4)ウエハー周辺露光用光源（2008/4/23）

そこで、テストマーケティングの着地点としては、最新のエキシマレーザーであるKrF、ArFに使えないことも考慮し、(1)既存または中古の半導体製造設備のリニューアル用途で、営業力を補完す...

分析・半導体市場(14)キヤノン専務・市川潤二氏（2008/3/24）

同248ナノメートルのフッ化クリプトン(KrF)露光装置もスループットを向上した機種を投入する」 ―半導体の回路微細化に対応したArF露光装置の受注見通しは。