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シュノーケルレンズ方式の対物レンズに、低い加速電圧で電子線を当てた際の高角度散乱反射電子を検出できる「Top検出器」を標準搭載した。

大阪大学超高圧電子顕微鏡センターと、阪大サイバーメディアセンター、日立ハイテクノロジーズは4日、超高圧電子顕微鏡(加速電圧300万ボルト)用の遠隔自動撮影システムを開発したと発表した。

高い加速電圧によって微細なパターンを安定して描くことができる装置。

電子ビームを加速させるための電圧が15キロボルトの場合で、試料を観察できる保証分解能は1ナノメートル(ナノは10億分の1)を実現した。... 画像の倍率は25―100万倍で、加速電圧1...

高性能の電子銃をSEMに搭載し、加速電圧30キロボルトで保証分解能2・5ナノメートル(ナノは10億分の1)を実現した。

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