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【横浜】レーザーテックは次世代半導体ウエハーの窒化ガリウム(GaN)ウエハーに特化した欠陥検査/レビュー装置「GALOIS(ガロワ)=写真」を開発し受...
【横浜】レーザーテックは、10・5世代の大型フラット・パネル・ディスプレー(FPD)向けフォトマスク検査システムを開発した。
【横浜】レーザーテックは、薄型ディスプレー(FPD)用大型マスクブランクス(原版)欠陥検査装置「LBIS(エルビス)」を改良し、近く投入する。
独自データベースを活用─レーザーテック レーザーテックは半導体、エネルギー・環境、薄型ディスプレー(FDP)の関連装置、レーザー顕微鏡の...
【横浜】レーザーテックは極端紫外線(EUV)を使った微細な半導体パターン転写に対応した量産用EUVマスクブランクス(原版)の欠陥検査・解析装置「ABICS E1...
5軸マシニングセンター(MC)「DMU50 3rd ジェネレーション」、金属積層造形装置とMCを組み合わせた「レーザーテック75 シェイプ=写真」などの...
【横浜】レーザーテックは半導体ウエハー面のパターン線幅の異常やバラつきを検出するリソグラフィープロセス検査装置「LX530=写真」を製品化した。
レーザーテックはウエハーの表面と内部の欠陥を検査できる「SiCウエハー欠陥検査・レビュー装置SICA88シリーズ」を2015年9月の発売から1年間で10台納入した。
【横浜】レーザーテックは、薄型ディスプレー(FPD)生産で使用するフォトマスクの位相差や透過率を高精度に測定できる装置「MPM365gh=写真」を発売した。
【横浜】レーザーテックは、薄型ディスプレー(FPD)生産で使用する大型マスクブランクスの欠陥を高感度かつ短時間に検査できる装置の上位モデル「LBIS(エルビス)」を発売...
【横浜】レーザーテックは、炭化ケイ素(SiC)を使ったウエハーの表面と内部の結晶欠陥を同時に検査できる装置「WASAVIシリーズSICA88」を発売した。
講師は「第12回勇気ある経営大賞」(東京商工会議所主催)を受賞したアイオイ・システム(東京都大田区)の多田潔社長と「第56回十大新製品賞」(日刊工業新聞社主催&...
【横浜】レーザーテックは半導体ウエハー検査測定装置「WASAVIシリーズ」で「BIM300=写真」を発売した。
【各社の動向】 ■DMG森精機/5軸MC組み合わせ DMG森精機のAMと5軸加工機のハイブリッド機「レーザーテック65 3D」 ...
レーザーテックは欠陥検出感度を従来比30%向上したマスクブランクス欠陥検査装置「M8350/M8351」の受注を開始した。
【電気化学反応可視化コンフォーカルシステム 「ECCS B310」】 「『電池内部の充放電の様子をその場で観察できる装置を作ってほしい』。こう言われたのがきっかけだっ...
【レーザーテック/電気化学反応可視化コンフォーカルシステム ECCS B310】 独自技術の「リアルカラーコンフォーカル光学系技術」を基に開発した。