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三菱電線工業は東芝マテリアル(横浜市磯子区)と共同で、絶縁材料を2マイクロメートルの厚さで被膜した半導体ウエハー検査用プローブピン(探針)を開発した。

長浜、虎姫の2工場ではシリコンウエハーのスライス加工用ワイヤソーのほか、ウエハー品質検査用の自動検査機械などを7月から順次導入する。

露光装置の投影レンズとウエハーの間に純水を満たして光の屈折率を高め明るさを表す開口数(NA)を上げる。

生産能力は直径300ミリメートルウエハー換算で月産5000枚前後。

レーザーや砥石(といし)によるウエハーの切断、ポリッシュグラインダーによる薄片化、化学機械研磨(CMP)装置による平坦化など各種プロセスに対応するほか、消耗品の評価も行...

同社は半導体ウエハーの需要が「2月に底を打ち、上期は若干回復する。300ミリメートルウエハーの稼働率は70―80%になるだろう」(重松健二郎社長)と見ている。

エルピーダと台湾3社が連携すれば「直径300ミリメートルウエハーで月産41万枚を処理でき、そのウエハーから取得できるDRAMチップ数は月4億4200万個に高まる」(エルピーダ)。...

韓国のオースンLST(牙山市)は太陽電池用多結晶シリコン材料からウエハーまでの一貫生産体制を整え、12月までにウエハー生産能力を現在の3倍以上の月200万枚(年産100メガワッ...

中型のGLM15形は幅159ミリ×高さ75・6ミリメートルで、長さ500ミリ―3074ミリメートルの12種類をそろえ、半導体ウエハーや検査用カメラの搬送用途を見込む。

1枚のウエハーから2倍近いチップを製造でき、製造コストを下げられる。

エルピーダと台湾3社を合わせた生産能力は、直径300ミリメートルウエハー換算で41万枚となり、サムスンの同36万枚(直径200ミリメートルウエハー除く)、ハイニックス(同...

【神戸】大阪富士工業(兵庫県尼崎市、大島時彦社長、06・6487・1865)は、岡山県総社市に太陽電池用シリコンウエハーの加工工場「EAST総社」を完成した。岡山県内では岡山市に次ぎ2...

半導体ウエハーの洗浄などに使うフッ酸は廃液を凝集して沈殿処理するケースが多く、最終的に発生する汚泥を廃棄物として処理する必要があった。

8割近いシェアを誇ったが、ウエハーの大径化に伴い主流はワイヤソーに移った。

スパンション・ジャパンは会津若松工場に12億ドル(1080億円)を投じて、直径300ミリメートルウエハー対応の先端ラインを敷設、07年にNORフラッシュの量産を始めた。

日本ザイラテックス(東京都中央区、土田由紀夫社長、03・6278・8201)は、太陽電池パネル材料の製造工程で用いるウエハー総合検査機を8月に発売する。... ウエハー内部や表面の割れ...

ウエハー外観検査装置、ウエハーエッジクリーニング装置について新たな開発と製造を凍結。

3月からは徐々に販売数量が増える」(諸橋部会長)とし、年央から300ミリメートルウエハー向けを中心に需要が立ち上がり、減少幅が縮小すると見る。

【京都】ユーシン精機は半導体製造ライン向けに薄型ウエハーのハンドリングロボットを発売した。ウエハーの保護材を取り除き、製造ラインに移載する。... 半導体製造にはウエハーに回路を形成する前工程と、チッ...

IHIは半導体ウエハー搬送分野を強化する。

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