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昭和電工、韓国で高純度ガスの貯蔵能力倍増半導体製造向け供給体制強化（2022/9/6 素材・医療・ヘルスケア２）

エッチングガスで世界トップシェア。

ADEKA、韓で半導体材料増産 DRAM向け（2022/7/26 素材・医療・ヘルスケア２）

同社は高誘電材料やエッチングガスなど半導体前工程向けの材料で高シェアを持ち、高誘電材料の世界シェアが37%、先端品分野では50%を超えるという。

ダイキン、韓国に新工場半導体用エッチングガス生産（2021/1/22 電機・電子部品・情報・通信）

新工場で生産するエッチングガスは、ドライエッチングと呼ばれる半導体の製造工程で、感光剤(レジスト)などの薄膜を除去して微細な回路を形成するのに用いられる。

日本ゼオン、シリコンバレーに販売拠点高機能材料を訴求（2017/12/7 素材・ヘルスケア・環境）

シクロオレフィンポリマーや光学フィルム、リチウムイオン二次電池用バインダーのほか、絶縁材料やエッチングガスなど電子材料を扱う。

セリート、EUV露光技術で22ナノ対応の銅配線を試作（2009/6/2）

配線溝の加工は耐環境性・耐レジスト性硬化性に優れたエッチングガス「CF3I」を使い、反応性イオンエッチング技術を適用。