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記事検索結果
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等方性黒鉛に高純度化や化学処理などを施した製品は、半導体ウエハーの結晶成長に用いる炉内部材や、ウエハーに薄膜を作るエピタキシャル装置内でウエハーを載せる「サセプター」と呼ばれる部材などに利用される。....
太陽光パネルの製造工程で用いるサセプター(発熱体)向けに大型製品の引き合いが増えていることに対応する。... 足元では太陽光パネルのほか、有機エレクトロ・ルミネッセンス(EL&...
シリコンウエハーやLEDの製造工程に用いられるサセプターなどのSiC膜を被覆した黒鉛製品は「飛躍的な成長を遂げ、事業の柱に育成する」(近藤尚孝会長兼社長)として、中計期間中に21年の増...
【アルミナの10倍】 AINセラミックスはシリコンウエハーから熱を逃がすサセプターや静電チャックといった半導体製造装置用部品、電子基板に取り付けるLED素子下の基板、放熱樹脂(...
【2000℃以上】 東洋炭素はシリコンや炭化ケイ素(SiC)単結晶製造工程向けのほか、ウエハー上に窒化ガリウム(GaN)層を製膜する際に使用する「MO...
住友大阪セメントはSiCセラミック部品としてプラズマエッチング装置のシャワープレートやフォーカスリング、プラズマ化学気相成長(CVD)装置や熱CVD装置のサセプターなどを製造する。
ウエハーを支持するサセプターやウエハー搬送用のエンドエフェクター、ガスを噴射するシャワーヘッドなどの部品として提案する。
【名古屋】日本ガイシは半導体製造用セラミックス部品(サセプター)の新工場「多治見工場=写真」(岐阜県多治見市)を稼働した。
半導体製造装置部材(サセプター)を扱うHPC事業部、焼成炉などの生産設備を扱う産業プロセス事業部の2本柱だ。... サセプターは急成長中だ。HPC分離前の18年3月期、エレクトロニクス...
【名古屋】日本ガイシは半導体製造用セラミックス部品(サセプター)や焼成炉などの製造関連事業の統括部門「プロセステクノロジー事業本部」を4月1日に新設する。半導体需要の拡大で成長するサセ...
【名古屋】日本ガイシは18日、半導体製造装置においてシリコンウエハーを支持するセラミックス機能部品(サセプター)の新工場を岐阜県多治見市に建設すると発表した。... サセプター工場は愛...
凸版印刷は17日、同社の電子レンジ用発熱シート「サセプター」がクレハの家庭用品総合ブランド「キチントさん」の商品として電子レンジで簡単にクッキーが作れる「チンするレシピクッキーマジック=写真」...
販売面でもLEDの製造工程で使う炭化ケイ素(SiC)コーティングした『サセプター』など高付加価値製品の販売を拡大する方針だ》 「LED製造向けのサセプターはLEDの歩...
ガス注入方法を工夫しサセプター(台座)の均熱性を1000度Cプラスマイナス5度C以内とし、他社従来品より安定した結晶成長が行える。
同社は閃光が当たる瞬間もウエハーに触れているサセプター(保持部)に注目。ウエハーとサセプター間にわずかな空気層を形成すると、割れにくいことが分かった。約30パターンのサセプターも考案し...