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記事検索結果
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ハイドライド気相成長法(HVPE)を生かし、低欠陥が特徴であるレーザー向けの2インチウエハーで25年に向けて現状比4、5割増といった大幅な出荷増を想定。日本製鋼所などと低圧酸性アモノサ...
これらを結晶成長させて太陽電池構造にする成膜コストと、結晶成長の基になるGaAs基板が非常に高価である。 従来の成膜技術に比べ安価な原料が使用可能で、成膜速度が非常に速いため90...
大陽日酸は三塩化ガリウム―アンモニア反応系を用いたトリハライド気相成長法(THVPE法)を活用し、高速、高品質で連続成長が可能な窒化ガリウム(GaN)結晶製造装置を開発...