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サムコ、低温成膜を実現したプラズマ原子層堆積装置開発 （2022/10/3 総合４）
電子デバイス研究開発用、窒化・金属膜など対応 【京都】サムコは化合物半導体など幅広い電子デバイスでの成膜に対応した原子層堆積(ALD)装置を開発し...
VACUUM2020真空展 ONLINE/注目の製品・サービス(5) （2020/10/23 機械・航空機）
日本電子/電子銃やプラズマソース出展 日本電子は「Solutions for Innovation」のもと、ユーザーに役立つ高機能光学薄膜の成膜に最適な電子...
2019真空展/紙上プレビュー(上)新明和工業ほか （2019/8/26 機械・ロボット・航空機１）
新製品として半導体光学向け水平型スパッタ装置OWLS―1800(写真)、光学薄膜用プラズマ原子層堆積装置A800Pなども紹介する。 【東邦化研/機能性薄膜の...
日立ハイテク、半導体ウエハー成膜装置でフィンランド社と協業 （2017/2/1 電機・電子部品・情報・通信１）
ピコサンの成膜装置に日立ハイテクのプラズマ技術を組み合わせ、プラズマ原子層堆積(PE―ALD)装置を共同で開発する。
