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凛としていきる・理系女性の挑戦/次世代露光技術の開発/東芝セミコンダクター&スト... （2016/3/22 総合３）
半導体製造におけるリソグラフィ(露光)プロセスの開発に従事してきた。... その後は社内外の依頼があり、国際学会の委員・座長、半導体関連委員会の委員などをお受けしてきた。... 先端半...
新刊/岡崎信次・鈴木章義・上野巧著『はじめての半導体リソグラフィ技術』 （2011/12/26）
半導体リソグラフィー技術は半導体集積回路の微細化、高集積化をけん引してきた中心的な技術だ。... 半導体デバイスの製造技術者・プロセスエンジニアや半導体製造装置の設計・開発者、半導体用材料メーカーの技...
