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芝浦メカトロ、電磁波シールド用スパッタリング装置開発 高・低周波対策を両立 （2019/10/7 電機・電子部品・情報・通信）
芝浦メカトロニクスは、電磁波シールド用スパッタリング装置「CCS―2110」を開発した。半導体パッケージをスパッタで成膜する際に、高周波帯域と低周波帯域の両方の電磁波を遮蔽(しゃへい)...
