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ルケオ/直径100mmの歪み 1分以内に面一括測定 （2021/11/1 新製品フラッシュ２）
ルケオはシリコンウエハーの残留応力などを測定する近赤外歪検査器「フルオートストレインアイLSM―9100WNIR」を発売した。
ルケオ、残留応力を測定 近赤外歪検査器 （2021/10/6 電機・電子部品・情報・通信２）
ルケオ(東京都板橋区、吉村健太郎社長)は、シリコンウエハーの残留応力などを測定する近赤外歪検査器「フルオートストレインアイLSM―9100WNIR=写真」を発売した。
