２０１７真空展・紙上プレビュー（上）荏原ほか

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真空技術を紹介する「ＶＡＣＵＵＭ２０１７　真空展」（日本真空工業会、日本真空学会主催、日刊工業新聞社共催）が９月６―８日にパシフィコ横浜（横浜市西区）で開かれる。今回は「見えない力で魅せる真空。」をテーマに、７８社・団体が出展する。主な出展者の注目製品・技術を紹介する。

（３回掲載）

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【荏原／空冷方式を採用設置しやすく】

荏原は半導体産業向けの精密製造技術を生かして開発した空冷式ドライ真空ポンプ（写真）を紹介する。従来のドライ真空ポンプは水冷が一般的で設置環境に制限があったが、ファンによる空冷方式を採用し、電源さえあればどこでも使用できるようにした。小型軽量設計のため持ち運びも容易で、研究利用にも適している。

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【佐藤真空／コンパクトで大きな駆動力】

佐藤真空（埼玉県三芳町、０４９・２５８・１１１６）は真空ポンプ、真空計測器をはじめ、真空乾燥機や真空ベーキングなどの真空装置を豊富にそろえる真空メーカー。今回はコンパクトで大きな駆動力が得られる直結型油回転真空ポンプ（写真）、ベルト駆動型油回転真空ポンプなどを出展する。

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【芝浦メカトロニクス／最大２種類の積層成膜が可能】

芝浦メカトロニクスは高速枚葉式スパッタリング装置ＢＭシリーズ（写真）を出展する。最大２種類の積層成膜が可能なほか、立体物側面膜付着量向上で、ランプリフレクターの反射膜、保護膜、ミリ波レーダー用電波透過膜の成膜にも対応できる。搬送系にピック＆プレイス機構を採用し、自動化ラインとの接続が容易な構造とした。

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【オリオン機械／低騒音を実現進化形提案】

オリオン機械（長野県須坂市、０２６・２４５・１２３０）はオイルフリー真空ポンプ（写真）を出展する。電子制御などで省エネルギー、低騒音を実現する進化形を提案。オイルフリー真空ポンプの液体吸引による故障リスクを解決する真空回路用自動液体分離・排出装置を発表する。実際に液体を大量に吸引させ、前段で排除する実機デモを行う。

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【島津製作所／小型高圧縮比タイプなど出展】

島津製作所は半導体、フラット・パネル・ディスプレー（ＦＰＤ）、タッチパネルなどの製造に不可欠なターボ分子ポンプの小型高圧縮比タイプや電源一体タイプ（写真）などを出展する。このほかにも、漏れ検査機能やヘリウム供給回収機能を標準搭載し、車載空調向け部品検査に適したヘリウムリークテスト装置などの新製品を紹介する。