２０１７真空展・紙上プレビュー（中）日本電子ほか

【日本電子／基板へのＸ線影響など大幅低減】

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  日本電子のボンバード蒸着源

日本電子は高機能光学薄膜の成膜に適したボンバード蒸着源（写真）、電子銃、電子銃用電源、プラズマソースを紹介する。ボンバード蒸着源は低ダメージ、低欠陥、低融点材蒸着用途向けに開発した電子ビーム間接加熱法を利用している。蒸着で問題となる基板へのＸ線影響、反射電子影響は従来の電子銃と比べ、大幅低減した。

【原田産業／真空・減圧下の静電気対策提供】

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  原田産業の静電気除去ＶＵＶイオナイザ

原田産業（大阪市中央区、０６・６２４４・０１７１）は、商社として顧客ニーズに合致した商品、サービスを提供する。真空・減圧環境下で静電気に関する悩みを解決するため、静電気測定から静電気除去ＶＵＶイオナイザ（写真）、剥離帯電防止コーティングなどを提案する。圧力制御機器や蛍光式光ファイバー温度計も紹介する。

【コスモ・テック／確実なシーリングが可能】

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  コスモ・テックの京セラ製電流導入端子

コスモ・テック（東京都中央区、０３・３２７０・５７６１）は、真空関連の顧客に対し、確実なシーリングが可能なスイス・ＥＶＡＣ製のチェーンクランプを出展する。半導体製造装置メーカーへの採用実績が多く、信頼性の高さを訴求する。フランジ付きでカタログ規格化し、即使用できる状態で常時在庫する京セラ製電流導入端子（写真）も紹介する。

【ニッタ／簡単に取り付け真空ポンプ保護】

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  ニッタの配管用ケミカルフィルター「ラインソーブ」

ニッタはケミカルフィルターメーカーとして蓄積したノウハウをもとに、真空ポンプを保護する製品を提案する。エア配管のインラインに簡単に取り付けられ、酸性ガス、アルカリ性ガス、有機系ガス、粉じんを除去できる配管用ケミカルフィルター「ラインソーブ＝写真」を出展。ガス流量や対象ガスに応じて自由に設計できる。

【大阪真空機器製作所／顧客の仕様に合わせ特注品】

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  大阪真空機器製作所の磁気軸受型ターボ分子ポンプ

大阪真空機器製作所（大阪市中央区、０６・６２０３・３９８１）は、真空機器専業で、顧客ごとの仕様に合わせた特注品を中心とする。姿勢自在型複合分子ポンプ、コントローラ・電源一体型や磁気軸受型のターボ分子ポンプ（写真）、ドライ真空ポンプなどを出展する。