ＪＦＣＣ、分離膜合成技術 水素など高効率・高純度で透過

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  ガス分離膜の支持基材などの透過電子顕微鏡での断面図

【名古屋】ファインセラミックスセンター（ＪＦＣＣ）材料技術研究所の永野孝幸主任研究員らは、水素などのガスを高効率、高純度で透過する分離膜の合成技術を開発した。分離膜と支持基材の間の中間層に分離膜の原料を供給する際、２方向からの供給によって薄くて透過速度の速い膜を作製。さらに圧力差をかけた供給で欠陥が少なく透過選択性が高い膜が中間層内の表面付近にできる。水素やメタンなどの分離膜として実用化を目指す。

分離膜は、結晶化前の「アモルファスシリカ系」。分離膜原料のシリコンを窒素やヘリウムなどの不活性ガスと一緒に高圧で供給し、中間層の反対側から合成反応に必要な酸素を供給した。

シリコンと酸素が反応したシリカが中間層の孔に付着し、厚さ０・２マイクロメートル（マイクロは１００万分の１）の膜を形成する。２方向からの供給のため、膜ができた時点でシリコンと酸素が反応...