機械技術４月号／精密研磨の最新技術動向

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日刊工業新聞社が２５日発売する機械技術４月号は「高付加価値を生む精密研磨の最新技術動向」を特集する。高い精度を実現する精密研磨技術の動向と製品付加価値を高める技術を紹介。一歩先の研磨を提案する。

解説では微粒子と加工物表面間の化学反応を利用した超精密加工法であるＥＥＭ加工をはじめ、単結晶Ｓｉレンズの非球面レンズ創成研磨、固定砥粒（とりゅう）研磨の最新動向を取り上げる。事例では光学レンズなどの研磨に取り組む企業を紹介し、加工の勘所なども紹介する。また、機能解説では研磨装置や関連資材メーカーによる最新の製品情報を掲載する。

研磨加工は精密加工技術の最終工程として不可欠な技術。半導体ウエハーや発光ダイオード（ＬＥＤ）、太陽電池、光学レンズ、水晶デバイス、磁気・記録デバイスなどの先端製品で使われる、たいていの部品に超精密研磨技術が採用されている。薄肉化する基板に対してもさらなる平坦（へいたん）性や厚みの均一性、均質性、寸法精度、形状安定性などが厳しく要求され、低コスト化と合わせて重要性が高まっている。