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1時間当たりのウエハー処理枚数を表すスループットを従来比30%向上したほか、重ね合わせ精度を同50%向上した。

デバイスメーカーはウエハー1枚当たりのコストを削減するため、回路を微細化した先端半導体への移行に必要な投資は続けていることが背景にある。

ウエハーとレンズの間を純水で浸す「液浸」技術を利用する。

▽東俊一京都大学助教=超精密制御のための動的A/D変換器の開発▽梶原優介東京大学研究員=テラヘルツ近接場顕微鏡の開発▽下馬場朋禄山形大学准教授=リアルタイムデジタルホ...

国際半導体技術ロードマップ委員会(ITRS)は2012年に、300ミリメートルウエハーに比べて1・5倍大きい450ミリメートルウエハーの実用化を予想している。 これに向けて、米...

40ナノメートルプロセスを用いると、1枚のウエハーから取れるチップ数が45ナノメートルプロセスに比べて、1・5倍程度増えるといわれる。

ウエハーにパターンが確実に露光されているかどうかを検査するパターンプロファイルと呼ばれるソフトや細胞の形を認識するソフトの開発の一部を同社に委託する。

記号投影(キャラクタープロジェクション)を部分的に行う部分一括露光により、1時間当たりのウエハー処理枚数(スループット)を従来機比で5―10倍に向上。

休業したオリエンタル工業(大阪市北区)から太陽電池ウエハー洗浄装置の製造・販売事業を譲り受けたのに続き、11月に成膜装置とウエハー洗浄装置の新工場を本社工場の隣接地に着工する。... ...

従来の65ナノメートルプロセス品に比べて、直径300ミリメートルウエハー1枚から取れるチップ数が20%向上するという。

一方で、ウエハーの能力増強投資がある非鉄金属、タイヤ工場が新設される化学などは増加する。

しかし、結晶形成が難しいことから口径の大きいウエハーを製造しにくい。

【立川】イアス(東京都国立市、川端克彦社長、042・577・1044)は、ウエハー洗浄用の薬液に混入した金属不純物を生産ライン内で検知できるシステムを開発した。... 薬液交換といった...

同装置は液晶パネルや半導体ウエハーの製造や検査工程に使われる。

ウエハーをグラインダーに入れると搬送パッドが一つ目のチャック(ウエハーを置くテーブル)の粗削り用砥石があるところまで運び、ある程度の薄さまで削る。... 磨かれたウエハーは表面に凸凹が...

クリーンルームは(1)半導体のウエハーなどを洗浄、乾燥する工程(2)ウエハーを接着剤でガラス基板にくっつけ、固定した後に接着剤をはがす工程(3)ウエハー...

ただウエハー関連、薄膜型太陽電池、色素増感型太陽電池など基礎研究が必要な先端分野は、先行する欧米、日本メーカーの保有する特許との関係などが課題になると見られる。

三洋電機は29日、米オレゴン州セイラム市に太陽電池セルの材料であるシリコンインゴットとスライスしたウエハーを生産する新工場を建設すると発表した。... 三洋は米カリフォルニア州で太陽電池ウエハーを生産...

チップ大にくりぬいた型をウエハーに載せ、中にチップを重ねて加熱処理する1工程で積層する。... ウエハーに空けた微細な穴に信頼性の高いタングステンを貫通材料として埋め込み、加熱しながら圧力を加えると一...

今回、ウエハーの裏面をフジクラが持つ微細加工技術を生かして研削することで、厚さを従来の0・3ミリメートルから0・2ミリメートルにした。

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