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アイティ・テック、ウエハー端面の欠陥識別装置を発売（2008/1/9）

発光ダイオード(LED)の照射角度を制御することで、検査の妨げになるウエハー端面の光の反射を防止。... ウエハー全周の検査が可能。 ... 現在は6・8インチ対応型だが、来春...

化学業界トップに聞く(3)信越化学工業社長・金川千尋氏ほか（2008/1/8）

将来に備え、研究開発は行っているが、需要はまだないと見ている」 ―太陽電池向けウエハー事業へ参入の考えは。

産業天気図08(1) （2008/1/4）

それは半導体ウエハー搬送用ロボット。半導体製造装置業界はこの先半年から1年程度の間、大規模な投資が見込めないという見方が強くなっており、ウエハー搬送ロボットにも暗い影を落としている。

オムロン、MEMS事業を加速（2008/1/4）

ウエハーを現行の5インチから8インチに大口径化することで大量生産が可能になり安定供給できる。

東芝、来年度半導体に3500億円投資−「第5工場」四日市が有力（2008/1/1）

このため、回路をウエハーに焼き付ける露光工程に1台40億円するフッ化アルゴン(ArF)液浸露光装置を複数台導入。... 生産能力(直径300ミリメートルウエハー換算)は...

三菱マテ、研磨性能高める化学機械研磨用工具を発売（2010/2/26）

また、切り粉の排出性が高い砥粒保持構造にして、研磨パッドのウエハー研磨性能を従来品比で約1割高める。... 同工具は「CMPコンディショナー」と呼ばれ、ダイヤモンド砥粒を配列しており、ウエハーを研磨す...

産総研、2.5センチ角のダイヤモンドウエハー製造技術を開発（2010/3/2）

開発した技術では一つの種結晶から複数の薄板状の単結晶ダイヤモンドをつくり、これらの薄板状結晶同士をマイクロ波プラズマ化学気相成長(CVD)法で接合し、1枚の単結晶ウエハーを作製する。&...