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三菱重工、3次元積層LSI対応の全自動常温ウエハー接合装置を開発（2012/1/17）

真空中で材料表面にアルゴンの中性原子ビームを照射し、シリコンなどの原子同士を室温で接合する。

SCIVAX、ナノインプリント装置を開発−機能絞り低価格化（2012/1/17）

紫外線の出力は1平方センチメートル当たり20ミリワット、真空度は300パスカルの条件で成形できる。

ソニー、深海探査機「江戸っ子1号」を技術支援（2012/1/17）

このほか、樹脂製品の真空成形金型を手がけるバキュームモールド工業(東京都墨田区)がガラス球を保護するカバーの製作などを、ガラス加工などを手がける沼田光器(東京都足立区)...

神奈川県産技センターなど、大気圧で硬度ガラス並みの石英ガラス膜を作製（2012/1/12）

大気圧だと基板とガラス分子の密着が弱いために十分な硬度が出ず、これまでは真空にする必要があった。真空に比べて約半分のコストでガラスコーティングできる。... 真空下の反応は大規模な装置が必要で、高コス...

三海二山−中国・四国/デジタルの知と匠の技(51)タステム.と寺田鉄工所（0001/1/1）

▽所在地=愛媛県新居浜市、0897・37・1111▽社長=高橋政利氏▽営業品目=金属製建具の製造、各種薄板加工【寺田鉄工所=太陽...

三海二山−中国・四国/デジタルの知と匠の技(51)タステム.と寺田鉄工所（2012/1/11）

▽所在地=愛媛県新居浜市、0897・37・1111▽社長=高橋政利氏▽営業品目=金属製建具の製造、各種薄板加工【寺田鉄工所=太陽...

伯東、ADJを事業統合（2012/1/5）

伯東の真空機器部門と統合し、真空機器の顧客窓口を一本化するなど事業の効率化を図る。

田中貴金属、台湾大から太陽電池ルテニウム色素の販売ライセンス取得（2012/1/5）

同太陽電池は真空装置やクリーンルームなど大がかりな設備が不要で、電極そのものを大気中で簡単に印刷して作製できる。

サプライチェーン〜終わりなき物流改革/三菱電機−四国と中部が物流連携（2011/12/29）

三菱電機の電力・産業システム事業本部の受配電システム製作所(香川県丸亀市)は、電力の安定供給を確保するスイッチギア、工場の安全と効率化を推進するモーターコントロールシステム、真空遮断機...

誠南工業・ナノテクノロジー、有機ELパネル向け量産装置を13年完成−素早く均一に... （2012/1/4）

誠南工業は高橋客員研究員と共同で蒸着源を製造した経験や真空装置生産ノウハウを、ナノテクノロジー・インスツルメンツは蒸着技術に関するノウハウを活用する。

X線回折現象発見から100年-進化するX線分析、広がる活躍の場（2012/1/4）

(池田勝敏) 【X線の歴史】レントゲンが、真空放電の実験中にX線を発見したのが1895年。

デンソー、小型・高効率ラインを国内工場に水平展開（2011/12/28）

ダイカスト設備は金型内を真空状態にして、製品内部に空洞ができにくくした。

月面探査で猛レース−勝敗のカギは資金調達力（2012/1/1）

真空、昼は100度C、夜はマイナス100度Cと激しく変化する温度、宇宙線の影響など、地球とは全く違う世界が広がる。

サーモグラフィティクス、グラファイトで複合材2種開発−熱伝導率5倍超に（2011/12/26）

同社は同1700ワットの高熱伝導グラファイトを核に、各種金属と反応性の高い特殊な合金をはさみ真空熱処理して積層した熱伝導複合製品を開発している。

産総研のR&D(87)大面積・高精細印刷−エレデバイス作製効率化（2011/12/22）

フォトリソグラフィーは微細で精細なパターンをつくることができるが、真空の工程を多く含むとともに、エッチングによって不要な部分を除去しなければならず、エネルギー消費と材料の利用の面で効率が悪い。... ...

課題に挑む(96)安全・安心(2)新規開発装置の安全性（2011/12/21）

しかしながら、さまざまなウエハーや条件に合わせた処理を行うため、昇降温条件や昇降圧条件、真空雰囲気などの装置パラメーターを任意の時間プロファイルで設定可能なように、装置にある程度の操作自由度を与えてい...

帝人エンジ、ロボハンド高機能化−医療・介護向けトヨタとの共同開発品（2011/12/20）

共同開発したロボットハンドは繊維の立方体の袋に、メタルやビーズなど粒状物を詰めた構造で、真空ポンプを接続する。

「競争と協調」新時代へ/第2部・素形材企業編(52)湯川鋳造所（2011/12/19）

真空形発光分析装置などの研究設備を導入。

クローズアップ/日本の中小、海外進出手探り−香港の展示会、出展企業は… （2011/12/19）

高真空になる半導体製造装置のチャンバー窓には、硝子に比べて曇らないサファイアが適している。

城谷工業所、チタン製チャンバー開発−真空到達時間を短縮（2011/12/16）

同処理により、真空状態への到達時間の短縮を見込める。... 同チャンバーは製造工程に2回、真空処理を加えた。... 表面の穴の中に分子が入り込み、真空状態に到達するための阻害要因になっているため、これ...

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