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記事検索結果
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大真空はメガチップスの100%子会社である米サイタイム(カリフォルニア州)と微小電気機械システム(MEMS)発振子と独自の電子回路を組み合わせた「MEMSタイミ...
独自開発の微小電気機械システム(MEMS)水素センサーの搭載により0・5―1万3000ppmと低濃度から高濃度までの計測が可能。... 漏れ検知機に搭載するのは世界初というMEMS水素...
また通信機器で需要が急拡大している表面弾性波(SAW)フィルターの下地や、微小電気機械システム(MEMS)用基板も想定。
微小電気機械システム(MEMS)技術を応用した静電容量出力で、荷重による電極間の容量変化でスイッチを押す力を検知する。
【MEMSを利用】 分光器は一般にサイズが小さくなると分解能が落ちるとされる。しかしマイクロ分光器は、製造工程で微小電気機械システム(MEMS)技術を利用。
構造が複雑な微小電気機械システム(MEMS)の構築につながる。 ... 微小な機械システムを構成するモーターとして働く。
微小電気機械システム(MEMS)センサーと薄肉円形基板をケースに樹脂注型固定し小型ユニットにした。... センサーを含めた外部寸法が従来型標準ベアリングと同一になるよう設計し機械に組み...
次のターゲットとして微小電気機械システム(MEMS)市場を狙ったが、同関連部品のプレーヤーの7割は欧米勢が占める。
【京都】村田製作所は表面実装型の微小電気機械システム(MEMS)による角加速度センサー(写真)を開発した。... 従来は2枚のスリット入りディスクの位置関係を光ピックア...
透過型電子顕微鏡内で観察できるよう微小電気機械システム(MEMS)技術を利用して、厚さ数百ナノメートル(ナノは10億分の1)の模擬FCセルを開発。
東京大学の年吉洋教授らとは、微小電気機械システム(MEMS)を使った可変光減衰器(VOA)の開発に業界で初めて取り組み、わずか半年で製品化にこぎ着けた。 ...
微小電気機械システム(MEMS)技術でセンサーを小型化し、消費電力を従来の数千分の一に抑えることで、そばにコンセントがなくても使えるようにした。
金の表面に凹凸の溝を5マイクロメートル(マイクロは100万分の1)間隔で直線状に作り込んだ、単純な周期構造を持つプラズモニック吸収体を微小電気機械システム(MEMS)を...
新型の微小電気機械システム(MEMS)ジャイロセンサーを採用して同装置で主流の光ファイバージャイロ式と同等の性能を持たせ、価格は半分以下に抑えられる。航空機の慣性航法、自律航法の制御や...
微小電気機械システム(MEMS)技術を応用し、小型化や高機能化を実現するセンサーやアクチュエーターの量産技術を確立する。 アルバックは、500度C以下の低温でPZT膜...
アルバックは25日、圧電材料となるチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)の薄膜を微小電気機械システム(MEMS)に、500度C以下の低温で形成できるスパッタリング技術を開発した...