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記事検索結果
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【立川】エリオニクス(東京都八王子市、牧内昌幸社長、042・626・0612)は金属薄膜を溶融し、基板上に直径10ナノメートル(ナノは10億分の1)以下の金属粒子を形成...
エアロゾル粒子の計測の第一歩は大きさ(粒径)と量(濃度)の測定であり、粒径が10ナノメートル(ナノは10億分の1)よりも小さな、いわばエアロゾルナノ粒子...
この二酸化シリコン膜は電気特性に優れており、TFTの電子の流れを制御する「ゲート酸化膜」の膜厚を10ナノメートル(ナノは10億分の1)まで薄くすることに成功した。
EUVは波長13・5ナノメートル(ナノは10億分の1)で、フッ化アルゴン(ArF)エキシマレーザーを光源にするのが現在主流の露光装置の10分の1以下。回路線幅10ナノメ...
(6面参照) 半導体の微細化、高集積化が進み、線幅10ナノメートル(ナノは10億分の1)台の実用化が近づいている。... JSRはEUV露光でフォーカ...
例えば、厚みが10ナノメートル以下(ナノは10億分の1)で、線幅が数百ナノメートルの超電導ナノストリップ構造や、二つの超電導体を1ナノメートルの厚さの絶縁層で隔てたサンドイッチ構造など...
京都大学の北川宏教授や九州大学などの研究チームは、水素を吸収し貯蔵できるナノサイズの合金を開発した。... ロジウムと銀が原子レベルで結合した構造を持つ大きさ10ナノメートル(ナノは10億分の...
2社とも10月までに検収を済ませ引き渡しを終えた。 同装置「EBW―7000C」は、シリコンウエハーなどの基材に直径10ナノメートル(ナノは10億分の1)程度のパター...
この酸化物半導体の結晶を10ナノメートル(ナノは10億分の1)以下の大きさのサイコロ状にして、ルービックキューブのように寄せ集めることで量子効果が利用でき、熱電性能を高められると見てい...
物質・材料研究機構量子ドットセンターの黒田隆主幹研究員らは北海道大学と共同で、直径10ナノメートル(ナノは10億分の1)の微粒子である半導体量子ドットに複数の電子を閉じ込めることで、ナ...
直径10ミリメートルのアルミニウム合金を材料に、刃物には単結晶ダイヤモンド工具を使い、23度Cの恒温室で約15分かけて製作した。面粗度は10ナノメートル(ナノは10億分の1)前後。.....
物質・材料研究機構は26日、分子レベルの厚さを持つ酸化物のナノシート(ナノは10億分の1)を積み木細工のように組み立て、世界最小の強誘電体を開発したと発表した。強誘電体のナノ材料設計に...
東北大学の寒川誠二教授らの研究グループは、化合物半導体であるガリウムヒ素の基板上に同材料から成る厚さ数ナノメートル(ナノは10億分の1)、直径10ナノメートルの円盤状の構造物を等間隔に...
直径約10ナノメートル(ナノは10億分の1)と細く、これまで電子顕微鏡を使って原子レベルで構造を解析できなかった。 ... さらに電子エネルギー分光装置や試料をくるむ氷の薄膜を...
EUV露光装置は回路線幅16ナノメートル(ナノは10億分の1)以降の半導体製造での利用を見込む。... EUVは光の波長が13・5ナノメートルで現在主流のArFの10分の1以下。......
室温下の化学処理で層状構造を持つ高誘電体を層1枚ずつ剥がし、厚さ1・5ナノメートル、横幅約10マイクロメートル(マイクロは100万分の1)の高誘電体シート(ペロブスカイトナノシ...
走査型トンネル顕微鏡(STM)の測定原理を使い、10ナノメートル(ナノは10億分の1)から18ミリメートルまでの広域の形状を高精度で計測する。... 実験の結果、20回...
