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記事検索結果
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MEMSやNEMSといった微小電気機械システムを使う既存のナノモーターは、その多くが数十マイクロメートル(マイクロは100万分の1)程度のサイズにとどまる。
【MEMSを利用】 分光器は一般にサイズが小さくなると分解能が落ちるとされる。しかしマイクロ分光器は、製造工程で微小電気機械システム(MEMS)技術を利用。
次のターゲットとして微小電気機械システム(MEMS)市場を狙ったが、同関連部品のプレーヤーの7割は欧米勢が占める。
【京都】村田製作所は表面実装型の微小電気機械システム(MEMS)による角加速度センサー(写真)を開発した。... 従来は2枚のスリット入りディスクの位置関係を光ピックア...
透過型電子顕微鏡内で観察できるよう微小電気機械システム(MEMS)技術を利用して、厚さ数百ナノメートル(ナノは10億分の1)の模擬FCセルを開発。
価格競争が激しくなったため、「社外からMEMS技術を導入して小型・低コスト化を進める」ことを決断。02年、当時は面識がなかったMEMSの専門家の年吉教授(当時は助教授)の門をたたいた。...
微小電気機械システム(MEMS)技術でセンサーを小型化し、消費電力を従来の数千分の一に抑えることで、そばにコンセントがなくても使えるようにした。
金の表面に凹凸の溝を5マイクロメートル(マイクロは100万分の1)間隔で直線状に作り込んだ、単純な周期構造を持つプラズモニック吸収体を微小電気機械システム(MEMS)を...
新型の微小電気機械システム(MEMS)ジャイロセンサーを採用して同装置で主流の光ファイバージャイロ式と同等の性能を持たせ、価格は半分以下に抑えられる。... サイズは縦68ミリ...
微小電気機械システム(MEMS)技術を応用し、小型化や高機能化を実現するセンサーやアクチュエーターの量産技術を確立する。 アルバックは、500度C以下の低温でPZT膜...
低温化によりシステムLSIなどの相補型金属酸化膜半導体(CMOS)との一体化が可能になり、圧電MEMSの小型化や高機能化が図れる。... アルバックは、PZT膜のバッファ層を工夫し結晶...
