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同ルームは電子線描画装置、原子膜堆積(ALD)装置など半導体製造に必要な各種設備をそろえる。そうした中で、実習では90年代に普及した各種装置も活用している。

電顕は電子線描画装置と技術が近く、半導体の開発から製造、品質管理までを支える基盤技術の一つだ。

すでにGLVを半導体パッケージ基板など向けの「直接描画装置」に使っており、ハイパワーレーザーのハンドリングや放熱機構のノウハウを持つ。 ... 直接描画装置に加え、顕微鏡や、眼底カメ...

EUV露光に対応するEUVマスクは描画パターンが多く、描画時間を大幅に短縮できるマルチ電子ビーム描画装置での製造が主流。

エリオニクス/低価格電子ビーム描画装置 (2023/12/25 新製品フラッシュ2)

エリオニクスは、電子ビーム描画装置のエントリーモデル「ELS―ORCA」を発売した。上位機種と同じ制御システムを搭載して高い描画性能を実現しつつ、価格を抑えた。

試作はある程度、上福岡工場(埼玉県ふじみ野市)の現有設備でできており、EUVの製造装置メーカー向けに装置評価用のマスクを提供している。... 検査装置などを導入する必要がある。マルチビ...

ガラス基板にも対応 ウシオ電機は半導体製造装置最大手の米アプライドマテリアルズと共同で、フォトマスク(半導体回路の原版)を必要としないデジタルリソグラフィー技術...

ニュース拡大鏡/TOPPAN・大日印、フォトマスク微細化加速 (2023/12/13 電機・電子部品・情報・通信1)

TOPPAN/次世代2ナノメートル、米IBMに供給 EUV露光に対応するEUVマスクは描画パターンが多く、描画時間を大幅に短縮できるマルチビーム描画装置での製造が主流。.....

エリオニクス、低価格帯で高描画性能の電子ビーム装置発売 (2023/12/12 電機・電子部品・情報・通信1)

【立川】エリオニクス(東京都八王子市、七野実社長)は、電子ビーム描画装置のエントリーモデル「ELS―ORCA=写真」を13日に発売する。上位機種と同じ制御シ...

復権 半導体/TOPPAN専務執行役員・植木哲朗氏 EUVマスク量産検討 (2023/12/8 電機・電子部品・情報・通信)

最新鋭の高額な描画装置で(線幅が)緩いマスクを作るのはコスト高。古い描画装置をいかに維持するかが競争力につながる。... 当社が最も多くの装置を持っており、効率良く使いこなせている」&...

SCREEN、滋賀でプリント基板製造装置増産 配線微細化ニーズ対応 (2022/12/9 電機・電子部品・情報・通信)

プリント基板でも微細で高品質な回路パターンを形成したいニーズが高まっており、直接描画装置「Ledia(レディア)」シリーズ全般を増産する。... データセンター(DC)...

第64回十大新製品賞/日本力賞 日本電子 (2022/2/15 機械・ロボット・航空機1)

【電子ビーム金属3Dプリンター JAM-5200EBM】 日本電子は電子顕微鏡や半導体用電子ビーム描画装置で培った電子ビーム制御技術を応...

2021年 第64回十大新製品賞 (2022/1/4 十大新製品賞)

半導体製造装置の真空装置内部に搭載する。... 設備や装置の予防保全、生産品質向上を実現する。... 電子顕微鏡や半導体製造用電子ビーム描画装置で培った技術を応用。

マスクレス3次元(3D)レーザー描画装置により、立体的・高精細・緻密な微細パターンを実現。... 金星/難流動性粉末供給に対応 金星&#...

ニュース拡大鏡/半導体フォトマスク好調 総合印刷、設備フル稼働 (2021/7/7 電機・電子部品・情報・通信1)

一方、「先端のマスク描画装置、検査装置の価格は数十億円。

新たに導入する化学的研磨装置は、3年前に拡張した増設棟に25メートル長の銅メッキラインを新設したことにより、空いているかつてのメッキ部屋に設置する。... 2年前に多層基板プレス装置を導入したことに連...

同社初の金属3Dプリンターで、半導体製造用電子ビーム描画装置で培った技術を生かした。... また、造形の進捗(しんちょく)や装置状況をモバイル端末などで確認できる遠隔監視機能も備えた。...

【諏訪】コシブ精密(東京都練馬区、荻原太一社長、03・3934・2670)は、2億3000万円を投じて独社製のレーザー描画装置を導入した。... 今後数千万円をかけ、洗浄装置や成膜装置...

エリオニクス、走査4倍速400メガヘルツの電子線描画装置を投入 (2020/11/30 電機・電子部品・情報・通信)

【立川】エリオニクス(東京都八王子市、七野実社長、042・626・0612)は、同社従来製品比4倍となる走査速度400メガヘルツ(メガは100万)を実現した電子ビーム描...

SCREEN、プリント基板向け直接描画装置 生産性50%増 (2020/10/22 機械・ロボット・航空機2)

【京都】SCREENホールディングスは21日、同社従来品比で生産性を最大50%改善できるプリント基板向け直接描画装置を開発、2021年1月に発売すると発表した。高精細な描画性能を維持しつつ、横...

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