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記事検索結果
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このイメージング法は電子ビームを試料に照射・走査して内部構造を可視化する測定手法に、電子線強度を下げても鮮明な像を得られる最適明視野法を組み合わせている。
明視野によるコンフォーカル光学系を用いてGaNウエハーの各種欠陥を高速で検出し、高解像度で欠陥を観察できる。
新製品はサイズが大きい対象物の検査に特化した工業用顕微鏡で、概観の観察に適した「明視野観察」や蛍光物質の検出に有効な「蛍光観察」、細かい構造や傷の検出に優れた「暗視野観察」を組み合わせた観察法である「...
電子線強度と収束角を独立制御することで、明視野・暗視野透過電子顕微鏡法や走査型透過電子顕微鏡法などの検出手法に対応した。
(敬称略) 【風戸賞】▽豊岡公徳氏(電子顕微鏡法による新規細胞内小胞輸送経路の解明)▽柴田直哉東大院工学系研究科准教授(円環状明視野および差分...
東京大学大学院工学系研究科の阿部英司准教授の研究グループは日本電子と共同で、水素やリチウムなどの軽元素を観察できる顕微鏡法である「環状明視野顕微鏡法」の結像原理を解明した。... この定理に基づくと、...