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EUVリソグラフィーでは、マスク基板やウエハーの露光・現像後、およびエッチング後のパターンのナノメートル程度の誤差が、素子の品質に直結するようになり、マスク基板品質やパターン品質を確認するために、走査...

研究グループは試料の組成把握に適した走査透過型電子顕微鏡(STEM)を基に、金属原子の観察に強い「高角度環状暗視野走査透過型電子顕微鏡法(HAADF―STEM法)」を採...

環状暗視野走査透過型顕微鏡測定と、画像処理の条件を最適化した結果、カーボンナノチューブ(CNT)に内包された有機分子の構造について、軽元素・重元素を同時に原子レベルで観察できた。

特に、高角環状暗視野走査透過電子顕微鏡法という方法を用いれば、担体上の貴金属の原子1個を見分けることが可能なので、ナノ粒子のサイズ変化の判定は難しくない。

伊丹教授らは真空中のCNTを連続波レーザー照射で加熱し、暗視野顕微鏡で観察できる光学システムで実験した。

電子線損傷が少ない高角度環状暗視野走査型透過電子顕微鏡(HAADF・STEM)法を用いて濃度分布情報を抽出。

第60回十大新製品賞/日本力(にっぽんぶらんど)賞−レーザーテック (2018/2/1 電機・電子部品・情報・通信2)

明視野、暗視野両方の観察機能を備え、1200倍の高倍率レビュー機能を備える。

明視野、暗視野両方の観察機能を備え、1200倍に拡大して欠陥の形状などを確認できる。... オフィス、学校などへの展開も視野に入れる。

個性発信・話題の商品/オリンパス−工業用顕微鏡 (2017/7/31 新製品フラッシュ2)

新製品はサイズが大きい対象物の検査に特化した工業用顕微鏡で、概観の観察に適した「明視野観察」や蛍光物質の検出に有効な「蛍光観察」、細かい構造や傷の検出に優れた「暗視野観察」を組み合わせた観察法である「...

CX43は2―100倍の対物レンズが利用でき、明視野や暗視野、位相差観察といった幅広い観察方法に対応する。

一般的に折れや異物は明視野、傷は暗視野で撮像し検査する。

日本電子、省エネモード搭載型電子顕微鏡−エネ消費5分の1 (2016/1/8 電機・電子部品・情報・通信2)

電子線強度と収束角を独立制御することで、明視野・暗視野透過電子顕微鏡法や走査型透過電子顕微鏡法などの検出手法に対応した。

光を照射した際の散乱光から微細な構造を鮮明に観察できる「暗視野顕微鏡」を観察に利用した。さらに金ナノ粒子を使うことで、粒子表面の分子設計や暗視野顕微鏡での観察を可能にした。

ドーム照明と暗視野照明を装備し、ワークに適した照明条件で高い読み取り精度を発揮する。

暗視野でも鮮明に撮像できる。暗視カメラやセキュリティーカメラ向けなどで実用化を目指す。

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