半導体製造装置のプラズマ中の基板の温度や電力トランス巻線、マイクロ波加熱装置の測定などでの使用を見込む。

この対策がサスペンション溶射法と呼ばれるもので、微粒子を液中に分散させた懸濁液(サスペンション)とし、懸濁液の状態でモーメントを大きくしてプラズマに噴霧することで微粒子の溶射を可能にし...

量子科学技術研究開発機構と核融合科学研究所は、プラズマ中の高速粒子が瞬時に大量に失われる「間欠的バースト現象」の発生原因を解明した。... 核融合炉では、プラズマを加熱し、1億度C以上の高温プラズマに...

2方式はイオンビームによるスパッタリング法、ガスをプラズマ中に注入するP―CVD(化学気相成長)法。... 大電流を出す特性があるHCD式のプラズマガンを2基搭載した。... プラズマ...

核融合科学研究所の居田克巳教授らと量子科学技術研究開発機構、米ジェネラル・アトミクス(カリフォルニア州)などの研究グループは、プラズマ中で発生した乱流が他の場所へ広がっていく性質を持つ...

■アクセスランキング・ベスト10(8/7~8/13) 1位 東芝、前年度決算「適正」 監査法人が判断へ ...

【名古屋】核融合科学研究所は9日、定常運転性能に優れた核融合炉実現に役立つ実験装置「大型ヘリカル装置」(LHD)を使い、プラズマ中のイオン温度1億2000万度Cを達成したと発表した。&...

【名古屋】核融合科学研究所は、超電導核融合プラズマ実験装置である「大型ヘリカル装置」(LHD)で重水素プラズマを用いたところ、イオン温度1億度C以上を達成した。プラズマ性能向上のために...

低コストのロケットの打ち上げや人工衛星の軌道投入など各国の宇宙開発熱が高まる中、大きな脅威となっている物体がある。... 宇宙航空研究開発機構(JAXA)では宇宙ゴミを取り除く手法の開...

名古屋大学大学院理学研究科素粒子宇宙物理学専攻の前山伸也助教、日本原子力研究開発機構の井戸村泰宏研究主幹、核融合科学研究所の石澤明宏助教らは、核融合反応を起こすプラズマ中で、電子とイオンによるそれぞれ...

製品第1号は、プラズマ中のラジカルの絶対密度を計測する装置「ラジカルモニター」。... 今後、期待するのが“プラズマ医療”の可能性だ。... 臨床応用に向け、より効率的なプラズマ条件を探索していく方針...

高温のプラズマで試料をイオン化して質量分析する「誘導結合プラズマ質量分析法」(ICP―MS)を改良。... グループはこれまで、微小液滴に細胞を1個だけ含ませて高温プラズマ中に放射する...

プラズマ中のラジカルなど活性種の働きにより、VXガスをばらばらにすることなく分子状に脱離。... 生成したプラズマは電子温度だけが高く、分子温度は低いため、温度は60度C以下となる。... 前処理をす...

NTTと宇宙航空研究開発機構(JAXA)は、探査機や人工衛星向けのイオンエンジンに使われるプラズマ中のマイクロ波の電界を世界で初めて計測することに成功した。... これにより、従来、困...

例えば、低温プラズマのうち放電によって生じる放電プラズマは、オゾンを生成させる唯一の手段として開発からおよそ160年たった今でも活用されている。... その途上で、低温プラズマの電力を一定にしたまま反...

プラズマ中の窒素原子など電荷を持たない窒素種のみで処理するため、光沢感を損なう化合物層の形成を抑制できる。... 新たな窒化処理法は、対象物にプラズマ中の窒素原子を照射し、表面を窒化して硬化する。

【名古屋】名古屋大学プラズマナノ工学研究センターの堀勝教授らは、薄膜シリコンに堆積する水素原子の密度について、成膜装置壁面温度が高いほど下がることを突きとめた。紫外光を用いた真空紫外吸収分光(...

大気圧下でプラズマを当てて分解した材料を基材に付着させる「大気圧プラズマ法」を使った。... またシリコンの原料にプラズマ中で分解しやすいシラン系の材料を使った。

【厚さ5μm以下】 最近の技術の中で急速に進歩しているものに「薄膜技術」がある。... 【成膜しながら合成】 筆者らは高周波イオンプレーティング法において、酸素ガス...

チームではミシガン大にある施設でヘリウムガスのジェット噴流に高出力レーザーを照射し、小さなプラズマを生成。プラズマの中では正に荷電したヘリウムイオンが電子に周囲を覆われた泡のような状態が形成された。こ...