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マルチ電子ビームマスク描画装置の特性を生かし、新たな感光材料を含むプロセスを独自設計し、EUVマスクの微細構造に合わせて加工条件を最適化した。同装置の活用で、5ナノメートル世代の半導体用フォトマスク1...

―半導体製造装置を取り巻く状況をどうみていますか。 ... 開発した有機EL向けディスプレー用インクジェット描画装置についても継続的な技術革新を期待する。... 製造装置各社とも増産...

エスケーエレ、有機ELパネル向け設備増強 日台で (2019/12/12 電機・電子部品・情報・通信2)

滋賀工場(滋賀県甲賀市)に線幅1マイクロメートルレベル(マイクロは100万分の1)の超高精細パターンが形成できる最新の描画装置をはじめ、検査機などの周辺装置も導入した。...

東京エレク、解像度200ppiの有機EL製造装置 (2019/11/6 電機・電子部品・情報・通信2)

東京エレクトロンは、200ppiを超える有機ELディスプレー解像度に対応した開発ライン向けインクジェット描画装置「エリウス500プロ=写真」を発売した。... 有機発光層の成膜時に、RGB3色...

同製品は売り上げの60―70%を占める生産装置の主力製品。... 「現時点で、20年程前のマスク描画装置を使用している現場は多い。... そこでは1台数十億円の装置よりも、コストパフォーマンス...

セイコーエプソン、長野・富士見にインクジェットのラボ開設 (2019/8/27 電機・電子部品・情報・通信1)

同ラボにインクジェットの描画装置や吐出評価機などをそろえて電子デバイスの試作や評価を行い、企業や研究機関と連携して研究を進める。

別会社で同一人物の就任含む 社 名 新社長名 年...

回答企業は、電子ビーム描画装置のエリオニクス(東京都八王子市)や半導体研磨加工の秩父電子(埼玉県秩父市)、計測機器や試験装置開発のスペースクリエイション(浜松市...

経営ひと言/エリオニクス・七野実社長「楽しく仕事を」 (2019/2/21 機械・ロボット・航空機2)

同社は大学・研究機関向けの電子ビーム描画装置を手がける。

米・オプトメックのエアロゾルジェット技術を搭載した描画装置「Aerosol Jet HD=写真」を本社に導入した。... 同描画装置は描画に用いる液材料を超音波などでミストを生...

エリオニクスは大学・研究機関向けの電子ビーム描画装置が主力。

伸光写真、5G・自動運転向け基板強化 一貫生産構築 (2018/12/14 電機・電子部品・情報・通信2)

15年に本社工場を拡張し、16年にはベルギー・Ucamco(ユーキャムコ、ヘント市)製のレーザープロッタ描画装置「Calibr8tor5000」を導入、最小6マイクロメートル(...

(3)電子デバイス製品 95年から電子ビームマスク描画装置を開発。

【トップシェア】 同社によると、半導体製造装置市場のうちフォトマスクの描画機が占める割合は1%という。... 主力の電子ビームマスク描画装置の納入台数は毎年10台前後と安定的...

【京都】SCREENホールディングスは31日、次世代プリント基板に求められる微細回路パターンを形成できる直接描画装置「LANZAN(ランザン)=写真」を6月下旬に発売すると発表...

ニューフレア、半導体装置の開発期間短縮へ 芝浦メカトロと連携 (2018/5/29 電機・電子部品・情報・通信1)

ニューフレアテクノロジーは芝浦メカトロニクスと連携し、半導体製造装置の開発期間短縮に乗り出す。... ニューフレアテクノロジーと芝浦メカトロニクスが協力するのは電子ビームマスク描画装置の開発。同装置は...

エリオニクス、高精度描画装置を発売 4nm以下の加工対応 (2018/2/13 機械・ロボット・航空機)

【立川】エリオニクス(東京都八王子市、岡林徹行社長、042・626・0612)は、超高精細・高精度電子ビーム描画装置「ELS―F150=写真」を3月以降に発売する。... さら...

医用機器事業のメディカル分野は国内向けの生化学自動分析装置やOEM(相手先ブランド)による免疫分析装置が好調。... 装置は買えないが使いたいと考える層を取り込む。... 例えば富士レ...

品質検査装置を開発・販売する当社への追い風が期待される。 ... (3)半導体関連の需要が増え、マスク製作用電子ビーム描画装置など自社製品の拡販につながる。... 悪...

主力のフォトマスク描画装置では次世代機の開発を強化するほか、検査装置など新規事業の創出も加速する。... 最先端ではないが、回路線幅28ナノメートル(ナノは10億分の1)世代をメーンと...

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