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さらに、ウエハーの強度を上げチップへの加工性を高める鉄ドープ、LT中の酸素を減らし静電気の発生を抑える処理(ブラック処理)など4インチ、6インチで既存の独自技術も8インチに応用可能にし...

「直径0・5インチのウエハーを購入し、自社開発したパッケージ装置と組み合わせて、1個単位から試作を請け負う。... ウエハーは8インチや12インチが標準だが、0・5インチのサイズで1個から試作する。

(横浜・松崎裕) レーザーテックが扱う検査装置は、半導体製造プロセスに必要なデバイス製造やマスク作製、ウエハー製造の工程で使われるものが主流。

日立ハイテク、半導体ウエハー検査装置 処理能力2.4倍に (2018/12/14 電機・電子部品・情報・通信2)

半導体ウエハーの表面や裏面にゴミや傷が付いていないか高精度に確認できる。... 半導体ウエハーの検査能力を高めた。 半導体ウエハー検査装置は半導体ウエハーにレーザーを当てて反射する光...

セミコン・ジャパン開幕 727社・団体が出展 (2018/12/13 電機・電子部品・情報・通信1)

ディスコは無人搬送車(AGV)が半導体装置上のレーンを走り、半導体ウエハーを振り分けるシステムなど複数の実機を展示。

キヤノン、FOWLP向け半導体露光装置 解像力0.8μmに向上 (2018/12/13 電機・電子部品・情報・通信1)

FOWLPは半導体ウエハーの表面に回路を焼き付ける露光を、半導体ウエハーに回路を形成する前工程に加えて後工程でも行う。

SDEは半導体ウエハー内部にレーザー光を集光し、切断するための亀裂をつくる。

半導体ウエハー切断の加工状況、装置が自動返信 ディスコが開発 (2018/12/12 電機・電子部品・情報・通信1)

同社は今後開発する半導体ウエハー切断装置に同システムを搭載する考え。 半導体後工程請負業(OSAT)などの工場ではウエハー切断装置が数十台から100台程度並ぶことも少...

ディスコ、半導体製造を効率化 装置・システム開発 (2018/12/7 電機・電子部品・情報・通信1)

純水をリサイクルする半導体ウエハー切断装置と、無人搬送車(AGV)が装置の上を走り半導体ウエハーを複数の切断装置に振り分けるシステムで、実用化するのは業界で初めて。... 半導体ウエハ...

神津精機、ウエハー表面の自動測定装置 1枚1分以内 (2018/12/6 機械・ロボット・航空機1)

容器に入れたウエハーの歪みや厚みなどをセンサーで計測し、容器に戻す作業を自動で行う。... 装置ではまず、複数枚のウエハーが入った容器「カセット」からウエハーを1枚ずつ自動で取り出す。... ウエハー...

サムコ、直径200mm対応汎用ICP装置 21年ぶり刷新 (2018/12/5 電機・電子部品・情報・通信1)

【京都】サムコは直径200ミリメートルウエハー対応で化合物半導体やシリコン、多様な金属薄膜などの微細加工ができる汎用の誘導結合型プラズマ(ICP)エッチング装置を刷新し、新型機を12日...

ディスコ、半導体ウエハー切断装置 段取り替え自動化 (2018/12/3 電機・電子部品・情報・通信)

半導体ウエハーの切断はフレームと呼ぶ台にウエハーを載せる場合と、フレームを使わない場合がある。... DFD6363はフレームに載せたウエハーを運ぶロボットハンドと、フレームを使わずにウエハーを運ぶロ...

石英ガラス加工製品は、半導体製造の前工程でシリコンウエハーに洗浄や成膜、エッチングなどをする際、ウエハーを保持する治具として使う。新工場ではウエハー直径300ミリメートル以上の保持具を中心に手がける。...

JEL、半導体搬送ロボ工場新設 生産能力倍増 (2018/11/30 機械・航空機1)

【福山】ジェーイーエル(JEL、広島県福山市、崎谷信夫社長、084・952・5590)は、福山市佐波町の現本社を解体し、半導体ウエハーの搬送用ロボット生産工場を新設する。... 工場の...

パワー半導体、22年に月産650万台 米SEMI予測 (2018/11/28 電機・電子部品・情報・通信1)

米SEMI(カリフォルニア州)は27日、パワー半導体や化合物半導体の月産ウエハー枚数が、グローバルで2022年に18年比約18・2%増の650万枚程度になるとの予測を発表した。

NAND型フラッシュの場合、3次元NANDの1ウエハーあたりのKrFレジストの使用量は2次元NANDよりかなり増えると見られる。... KrFレジストを8―12回ほど使用することになるため、1ウエハー...

東京ダイヤモンド工具製作所(東京都目黒区、浜田洋右社長、03・3723・8111)は、半導体ウエハーの粗・仕上げ加工に適した研削用多気孔ホイール「ベガ=写真」を発売した。......

ウエハー廃棄率の低減や、数千万円規模の損失を防止する事例も出ている。... 三菱電機、加工状況をAI判定 三菱電機はパワーデバイス製作所の、ウエハー加工(前工程)で製...

17年に中国の工場に約100億円を投じ、直径8インチ(200ミリメートル)の中口径ウエハーの設備を設置し7月に上海で生産を始めた。同社は6インチ以下の小口径ウエハーを手がけてきたが、8...

ニューフレアテクノロジー、エピクエストと提携 半導体装置で協業 (2018/11/7 電機・電子部品・情報・通信2)

エピタキシャル成長装置は、半導体ウエハーの上に作る集積回路(IC)の土台となる膜を形成する半導体製造装置。

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