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今後はセンターが手がける微小電気機械システム(MEMS)技術との融合も検討課題となる。

電気と光の変換部に微小電気機械システム(MEMS)技術を用い、モジュールを小型化した。

マイクロマシンセンター(東京都千代田区、野間口有理事長)は、1日に微小電気機械システム(MEMS)の活動や新技術・新商品を紹介する仮想モール「MEMSモール」を同センタ...

太陽電池関連以外には、微小電気機械システム(MEMS)やパワーデバイスなど、成長が見込める新規分野を拡大する。

マイクロマシンや微細電子機械装置(MEMS)などマイクロメートルレベル(マイクロは100万分の1)の複雑な3次元加工品への利用が期待されている。

また独自の微小電気機械システム(MEMS)を採用、ガス供給圧力などの変動の影響を受けずに安定した制御を実現した。

2回目は11月下旬、微小電気機械システム(MEMS)技術を利用し薄膜温度センサーを作る。

同プロジェクトはこれまで、自動車、半導体、医療機器、微小電気機械システム(MEMS)、光産業、IT、非鉄金属リサイクルの7分野を重点分野としてきた。

微小電気機械システム(MEMS)素子分野で求められる超微細化や新たな精密金型の作成に寄与する。

そのためには、柔らかい、軽い、小さい―の三つが必須条件であり、微小電気機械システム(MEMS)利用による五感センサーや触覚センサーの開発などに力を入れているところだ。

微小電気機械システム(MEMS)技術と光技術を使い、従来機種と比べ体積を3分の1にし、重さも9グラムと軽量化した。

東京工業大学の松谷晃宏半導体・MEMS支援センター長は、バイオリン演奏時の音の周波数を測定し、人間の感覚と物理量とのバラつきをデータで明らかにした。

エプソントヨコムは微小電気機械システム(MEMS)技術を応用、水晶素材にフォトリソグラフィーを施す独自の加工法でデバイスの小型、薄型化を図る。

電子部品メーカーは従来の成形加工、機械加工から薄膜技術や微小電気機械システム(MEMS)を使った新しい加工法への転換も模索している。

91年に開発したレーザー加工のシミュレーターは微小電気機械システム(MEMS)や地球物理、エンジン設計など幅広い分野に採用された。

半導体やMEMS(微小電気機械システム)関連にも力を入れている。

加速度検出部に、微小電気機械システム(MEMS)を核に大日本印刷と共同開発した加速度センサーを用いた。... 従来のMEMS型センサーは分解能に課題がある一方、高精度センサーは高価だっ...

大日本印刷は28日、微小電気機械システム(MEMS)技術を用い、シリコンを基材にして細かな流路パターンを形成したチップを発売したと発表した。... 大日印は千葉県柏市のMEMS本部に0...

微小電気機械システム(MEMS)技術をテーマに、東京大学生産技術研究所の年吉洋准教授が、「MEMS技術の微小光学応用」と題した講演などを行う。

微小電気機械システム(MEMS)関連や光学部品、機能性フィルムなどを研究する企業や研究機関を対象に拡販する。

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