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川崎市、生産性向上後押し・働き方改革加速優れたモデル、取り組み促す（2020/5/5 東日本）

生産ラインにロボ導入・IoT・IT投資経営ビジョン共有・キャリア開発で変化に対応半導体製造用のスパッタリングターゲット材などを製造するフジメタル(川崎市川崎区&#...

JCU、中国子会社を清算（2020/4/21 総合３）

10年に設立し、スパッタリング装置によるカラーリング事業を行っている。

技術で未来拓く・産総研の挑戦(121)窒化物圧電薄膜（2020/4/16 科学技術・大学）

一方、成膜技術については、スパッタリング法による成膜条件の最適化を少数の実験で決定する手法を開発することで、研究開発時間を大幅に短縮できた。

神奈川県産技総研、事業化支援9者を採択（2020/4/7 東日本）

▽ブルースカイテクノロジー(横浜市神奈川区)=自動車用高エネルギー密度リチウム電池の開発▽分光科学研究所(川崎市麻生区)=多機能スマートラマン分光計の開...

協同インター、産学拠点に電子部門集約オープンイノベ加速（2020/3/31 東日本）

スパッタリング装置やドライエッチング装置、ナノインプリント装置、電子顕微鏡などを設置。

主力工場巡り/AGC・鹿島工場先端技術でガラス高機能化（2020/2/11 モノづくり）

ガラスの進化を支えている技術のひとつが「スパッタリング」と呼ばれる表面処理技術だ。

情報メモリー素子、消費電力50分の1 東工大と東大が開発（2019/11/22 科学技術・大学）

研究グループは、半導体素子の作製技術として、スパッタリング法などの薄膜作製手法を利用。

芝浦メカトロ、6層対応可能なスパッタリング装置（2019/11/8 電機・電子部品・情報・通信１）

芝浦メカトロニクスは、最大6層まで積層成膜可能な高速・多層枚葉式スパッタリング装置「BM―900」シリーズを開発した。... CD・DVD用のスパッタリング装置で培った高速成膜技術・装置の小型設計と、...

無機ガラスの強度3倍に中部大、薄膜材を開発（2019/10/21 科学技術・大学）

無機ガラスにスパッタリング法を用いて成膜したところ、成膜していないガラスに比べて表面の硬さが約3倍に向上した。

芝浦メカトロ、電磁波シールド用スパッタリング装置開発高・低周波対策を両立（2019/10/7 電機・電子部品・情報・通信）

芝浦メカトロニクスは、電磁波シールド用スパッタリング装置「CCS―2110」を開発した。... 開発したスパッタリング装置は、高周波対策向けに磁性体を使った独自開発の新材料と金属を交互に10層積層した...

エイエルエステクノ、自社製グローブボックス投入仕様変更に迅速対応（2019/10/1 中小企業・地域経済２）

有機ELデバイスの製造や研究などで使う蒸着やスパッタリング、低エネルギー逆光電子分光(LEIPS)などの装置類と組み合わせて利用する。

「VACUUM2019真空展」開幕ノートeパワー、カットモデル展示（2019/9/5 自動車）

そのパワーICにはスパッタリング装置とイオン注入装置が用いられ、大容量コンデンサーには巻き取り式真空成膜装置が使用されている。

2019真空展/紙上プレビュー(下)芝浦メカトロニクスほか（2019/8/29 機械・ロボット・航空機１）

電子・光学部品向けには低温多層積層スパッタリング装置「CCS―2110=写真」の詳細構造の模型を展示。自動車部品向けには1個流しで自動化が容易な多層枚葉式スパッタリング装置「BM―700」の模...

2019真空展/紙上プレビュー(中)日立造船ほか（2019/8/28 機械・航空機１）

このほか、樹脂部品への高速成膜が可能な高速スパッタリング装置といった真空関連機器も提案する。

岡谷熱処理工業、アトム窒化処理装置を導入皮膜処理で工具寿命2倍（2019/7/31 素材・医療・ヘルスケア）

スパッタリング作用も起きないため、鏡面状の表面仕上がりになり、耐摩耗性も大幅に向上する。

三菱ケミカル系、HUD用非球面ミラー無人生産ライン整備（2019/6/14 素材・医療・ヘルスケア）

無人プロセスでは、蒸着をスパッタリングに変更したほか、工程間にロボットを導入することで、検査・梱包(こんぽう)工程を除いて無人生産を可能にした。

非鉄各社、電子材料に勝機最先端素材への投資加速（2019/5/2 素材・医療・ヘルスケア）

社内では20年に向けて、電子部品に使用する圧延銅箔や、半導体製造工程で使う薄膜形成材(スパッタリングターゲット)の生産能力の増強を進める。... HCS TaNbは蓄電部品であ...

イノベーティブ製品開発(64)京浜ラムテックスパッタリング成膜源（2019/1/24 モノづくり）

速度改善、実用性高まる京浜ラムテック(横浜市港北区、松本光裕社長、045・620・6460)は、高密度プラズマによるスパッタリング成膜源「ラムカソード」を開発した。...

京浜ラムテック、熱線反射フィルム製造透過率84%、速さ2.5倍（2019/1/15 素材・ヘルスケア・環境）

同社のスパッタリング成膜源「ラムカソード」を使う。

エリオニクス、イオンビーム照射装置時系列で条件設定可能（2018/12/11 機械・ロボット・航空機２）

最高3キロボルトまで加速するイオンビームを照射し、スパッタリング微細加工や薄膜生成、表面クリーニングなどに利用する。

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