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記事検索結果
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オランダASMLは半導体露光装置のシェア目標を現状比約10ポイント増の70%超に設定した。... ASMLは設計と組み立てのみ。... ASMLとニコン、どちらの選択が勝利に結びつくのか。
オランダのASMLは、光源に極紫外線(EUV)を使う次世代の半導体露光装置を2010年に出荷する。... ダブルパターニングの改良と並行し、EUV露光装置をより良い性能に仕上げることこ...
競合のオランダASMLは開発資源をEUV露光装置に大きくシフトしており、2010年には量産試作機5台を納入する計画。ニコンとASMLの温度差が鮮明になる。
次世代露光装置をめぐるASML、ニコン、キヤノンの開発競争に影響を及ぼしそうだ。 ... ASML子会社のブライオンテクノロジーズが東芝に供給する。ASMLはこの契約を機に、次世代露光装置の採...
東京エレクトロンは合志事業所(熊本県合志市)に、オランダのASML製ArF(フッ化アルゴンエキシマレーザー)液浸露光装置を今秋導入する。... 子会社の東京エレクトロン...
ニコンとASMLが受注を巡って最後まで競合していたが、ユーロ安を背景に価格競争で優位に立ったASMLが受注を獲得した。... エルピーダは、広島工場にASMLのArF液浸露光装置を1台導入した。......
露光装置メーカーのニコンとキヤノンは半導体先端テクノロジーズ(セリート)と、オランダのASMLはベルギーのIMECとそれぞれ共同開発を進めている。
オランダのASMLも量産評価機「NXE 3100」を市場投入する計画を表明している。... ASMLは2010年に量産試作機としてNXE3100を投入する。 ... ニコンとキヤノンは...
EUV露光装置はニコンとキヤノンも開発を進めているが、ASMLが先行することになりそうだ。 ASMLはEUV光源に米サイマー製のレーザー生成プラズマ(LPP)を採用する。......
ASMLはウエハーステージに露光と計測を同時に行う方式を採用。... ニコンとASMLはウエハーステージの計測方法を変える。
オランダのASMLは、09年4月をめどに日本での半導体露光装置の販売を直接販売に切り替える。... 日立ハイテクは09年3月をめどにASML製の半導体露光装置販売を終える。... ASMLは日本以外で...
2回露光(ダブルパターニング)と呼ばれる製造技術を採用した機種で、オランダのASMLが09年1―3月期に初号期を出荷、ニコンも09年10―12月期に出荷する。... ASMLは09年1...
ニューフレアテクノロジー(横浜市港北区、045・471・1982)はオランダのASMLの子会社、米ブライオンテクノロジーズ(カリフォルニア州)と、回路線幅32ナノメート...
オランダのASMLは半導体回路をウエハーに焼き付ける半導体露光装置の大手専業メーカー。... ASMLのアントニオ・メスキーダ市場調査部長に露光装置の受注見通しなどを聞いた。
IMECはオランダのASMLが製造したEUV露光装置「アルファデモツール」で研究開発を推進。... さらに、IMECではアルファデモツールで得た研究開発データを基に、ASMLから量産対応機に近いプリプ...
オランダのASMLは次世代半導体の製造方法として開発を進めてきた「高屈折率溶媒を用いた液浸露光」の研究開発を事実上断念した。チップ上の回路線幅30ナノメートル(ナノは10億分の1)台の...
【フェルトホーフェン(オランダ)=安久井建市】オランダのASMLは、露光装置の新プラットフォーム「ツインスキャンNXT」を開発した。
