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記事検索結果
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半導体用レジスト大手のJSRはベルギーでEUVレジストを量産しており、「影響を調査している」(JSR)。東京応化工業のEUVレジストは台湾企業に量産採用され、韓国企業にも試作段階で採用...
同手法はレジスト(感光剤)をウエハーに塗り、光を照射した上でチップを切り出す。今回、イーヴィのレジスト塗布装置を活用。半導体チップにバンプと呼ばれる電極などの凹凸があってもレジストを均...
DICは26日、半導体実装向け厚膜レジスト用樹脂として、高耐熱性と柔軟性を兼ね備えたフェノール樹脂「RZ―230シリーズ」を開発したと発表した。 ... 厚膜レジスト材料にはネガ型ポ...
1968年には日本初の半導体レジストの製造を開始以来、常に世界半導体レジスト大手メーカーの一角を占め、長年培ってきた高度なフォトリソグラフィ技術や生産管理をベースに、極端紫外線(EUV)...
塗料やコーティング向けのUV硬化型樹脂「UNIDIC」を「LUXYDIR」に、レジストインクなどに使われるエポキシ樹脂「UNIDIC」と「DICLITE」を「EPICLON」に変更する。
実用化した水溶性マイクロパターニング材料は、使い捨て分析用バイオ流路やRFタグを製造する微細加工、基板上のフォトレジスト(感光性耐食被膜)のパターンを形成するレジスト材料などとして広範...
JSR社長・小柴満信氏「次世代レジストを育成」 ―2019年度までの3カ年中計は、17年度に早くも目標値を達成しそうです。 ... EUVレジストも、最終的には数百...
ArF用レジストの主な需要地は日本ではない。... 2016年にはArF用レジストや周辺材料の開発と検査・評価を担うクリーンルームも新設した。 もちろん米国や韓国など需要地への輸送費...
拡販が進めば、需要動向をみながら設備の増強も検討する」(水曜日に掲載) 【記者の目/捕捉むら少ない利点を訴求】 レジス...
まずは従来のフッ化アルゴン(ArF)露光装置では難しい、最先端の中でも限られた領域に訴求していく」 ―米インプリアへの出資で、EUV向け金属含有レジストの開発も進みそ...
富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズの静岡工場(静岡県吉田町)に、フッ化アルゴン(ArF)用レジストの調合タンクやフィルターを含む充填設備を新設。
「ベルギーの研究機関IMECを活用し、EUVリソグラフィー用のレジスト下層膜を仕上げた。EUVの悪影響を抑え、良好なレジストパターンを形成するのに寄与するものだ。
【川越】エコデザイン(埼玉県小川町、長倉広弥社長、0493・72・6161)は、半導体製造工程のレジスト剥離に適用可能な高濃度オゾン水生成装置を開発する。... オゾンの持つ脱臭・殺菌...
富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズの静岡工場(静岡県吉田町)に、フッ化アルゴン(ArF)用レジストの調合タンクやフィルターを含む充填設備を新設する。... 足元の...
