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ガス4種を1台で同時測定 理研計器、半導体工場向け装置開発 (2020/11/16 機械・ロボット・航空機1)

これまで1台で1種類の測定だったが、高機能ガス検知センサー「Fセンサ」を採用し小型化した。... 新機種で大幅な省スペース化や効率化が可能になる。... 一般に半導体工場では材料ガスとしてアルシン、ジ...

特殊材料ガスも新規材料開発、商品化の設備投資がかさみ1社単独では難しくなっており、製造を共同化して特殊材料ガス市場の拡大に対応する。 新会社では、CIGS(銅・インジウム・ガ...

約20%の省エネルギー化を見込む。... このほかにも、CIGS(銅・インジウム・ガリウム・セレン)系太陽電池用材料もそろえており、米国ではセレン化水素を生産している。 ...

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