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横浜国大・ディスコ・東レエンジ、半導体チップの3D集積技術開発 （2023/5/31 科学技術・大学）
半導体チップをウエハー上に仮接合して垂直配線を形成後に小さな力で剝離できる。... ウエハー上にシリカ薄膜を低温で形成して剝離層として利用する。低温形成層は空孔や水を内部に含み、熱処理すると水が放出さ...
ペロブスカイト太陽電池、「逆型」構造で変換効率20%超 山形大 （2019/6/24 科学技術・大学）
【山形】山形大学の佐野健志教授らは、150度C以下の低温形成プロセスで製作した「逆型」と呼ばれる構造のペロブスカイト太陽電池を開発した。これまで低温形成・逆型の構造では、変換効率が17―19%...
アルバック、PZT膜をMEMSに低温形成できるスパッタリング技術を開発 （2015/3/26）
アルバックは25日、圧電材料となるチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)の薄膜を微小電気機械システム(MEMS)に、500度C以下の低温で形成できるスパッタリング技術を開発した...
