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ユニケミー、表面分析装置を増設 空間分解能10倍 （2018/6/19 機械・ロボット・航空機２）
元素組成の分析感度が約0・1%で、元素を区別するエネルギー分解能も高い。 FE―SEMも同様に従来のSEMの約10倍の空間分解能があり、サブマイクロメートル単位で元素組成を分...
