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記事検索結果
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EUVリソグラフィーでは、マスク基板やウエハーの露光・現像後、およびエッチング後のパターンのナノメートル程度の誤差が、素子の品質に直結するようになり、マスク基板品質やパターン品質を確認するために、走査...
研究グループは試料の組成把握に適した走査透過型電子顕微鏡(STEM)を基に、金属原子の観察に強い「高角度環状暗視野走査透過型電子顕微鏡法(HAADF―STEM法)」を採...
環状暗視野走査透過型顕微鏡測定と、画像処理の条件を最適化した結果、カーボンナノチューブ(CNT)に内包された有機分子の構造について、軽元素・重元素を同時に原子レベルで観察できた。
特に、高角環状暗視野走査透過電子顕微鏡法という方法を用いれば、担体上の貴金属の原子1個を見分けることが可能なので、ナノ粒子のサイズ変化の判定は難しくない。
伊丹教授らは真空中のCNTを連続波レーザー照射で加熱し、暗視野顕微鏡で観察できる光学システムで実験した。
電子線損傷が少ない高角度環状暗視野走査型透過電子顕微鏡(HAADF・STEM)法を用いて濃度分布情報を抽出。
新製品はサイズが大きい対象物の検査に特化した工業用顕微鏡で、概観の観察に適した「明視野観察」や蛍光物質の検出に有効な「蛍光観察」、細かい構造や傷の検出に優れた「暗視野観察」を組み合わせた観察法である「...
電子線強度と収束角を独立制御することで、明視野・暗視野透過電子顕微鏡法や走査型透過電子顕微鏡法などの検出手法に対応した。
光を照射した際の散乱光から微細な構造を鮮明に観察できる「暗視野顕微鏡」を観察に利用した。さらに金ナノ粒子を使うことで、粒子表面の分子設計や暗視野顕微鏡での観察を可能にした。