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アンリツ、23年度に売上高1000億円 計測事業、5G取り込む （2021/4/30 機械・ロボット・航空機）
エリア限定で5Gを利用する「ローカル5G」と電気自動車(EV)・電池、医療・医薬品、光センシングの4領域を成長分野に設定。... 第6世代通信(6G)や超微小電気機械シ...
インタビュー/イノテック社長・小野敏彦氏 テスター海外展開加速 （2018/11/19 電機・電子部品・情報・通信）
超微小電気機械システム(MEMS)センサー向けテスターなども開発したほか、さらなる事業拡大に向け高効率・省力の次世代機も生み出す計画だ。
阪大、NEMSアクチュエーターを共同開発−機能性酸化物で立体構造 （2017/7/24 科学技術・大学）
大阪大学産業科学研究所の田中秀和教授とイタリア・ジェノバ大学物理学科のダニエル・マーレ教授らは、機能性酸化物セラミックスを使用したNEMS(超微小電気機械システム)高周波アクチュエータ...
セイコーエプソン、長野にプリントヘッドの新工場−200億円投資、18年度稼働へ （2016/1/21 総合３）
プリントヘッド製造の前工程となる、超微小電気機械システム(MEMS)製造技術による、プリントチップ製造を行う。
