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アンリツ、23年度に売上高1000億円計測事業、5G取り込む（2021/4/30 機械・ロボット・航空機）

エリア限定で5Gを利用する「ローカル5G」と電気自動車(EV)・電池、医療・医薬品、光センシングの4領域を成長分野に設定。... 第6世代通信(6G)や超微小電気機械シ...

インタビュー/イノテック社長・小野敏彦氏テスター海外展開加速（2018/11/19 電機・電子部品・情報・通信）

超微小電気機械システム(MEMS)センサー向けテスターなども開発したほか、さらなる事業拡大に向け高効率・省力の次世代機も生み出す計画だ。

エプソン、プリントヘッド新工場 225億円投じ年度内稼働（2018/7/10 電機・電子部品・情報・通信１）

新工場では超微小電気機械システム(MEMS)を活用したプリントチップを製造。

阪大、NEMSアクチュエーターを共同開発−機能性酸化物で立体構造（2017/7/24 科学技術・大学）

大阪大学産業科学研究所の田中秀和教授とイタリア・ジェノバ大学物理学科のダニエル・マーレ教授らは、機能性酸化物セラミックスを使用したNEMS(超微小電気機械システム)高周波アクチュエータ...

プリントヘッド製造の前工程となる、超微小電気機械システム(MEMS)製造技術による、プリントチップ製造を行う。