２０１７真空展・紙上プレビュー（下）入江工研ほか

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  入江工研の溶接ベローズ

【入江工研／溶接ベローズなど部材紹介】

入江工研（東京都千代田区、０３・３２１１・７１１１）は気体、流体の気密封止のシール用部材として使用する溶接ベローズ（写真）などの真空部材を紹介する。半導体、宇宙、医療分野向けに、高真空、超高真空にも対応可能な製品をそろえる。半導体の超微細化に対応する真空用ゲートバルブや搬送系システムも提案する。

【日立造船／高性能成膜装置を展示】

日立造船は高性能ロールツーロール成膜装置をパネル展示する。同装置はスマートフォンや液晶テレビ、太陽光パネルなど幅広い分野の製造プロセスにおいて採用されている。蒸着装置やスパッタ装置なども含め真空装置分野で、実験装置から生産ラインの構築までユーザーの要望に応じた装置を提案する。

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  岡崎製作所のシース熱電対

【岡崎製作所／取り付け簡単なシース熱電対】

岡崎製作所（神戸市中央区、０７８・２５１・５１４１）は真空機器用のシース熱電対（写真）などを出展する。シース熱電対は市販の真空フランジやＯリングでシールするタイプのため真空機器に簡単に取り付けて使用できる。使用する真空度に応じてヘリウムリーク試験にも対応可能。応答速度重視タイプや１０００度Ｃまで対応できるタイプなど用途に応じて選択できる。

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  堀場エステックのキャパシタンスメーター

【堀場エステック／キャパシタンスマノメーター】

堀場エステック（京都市南区、０７５・６９３・２３００）は真空熱処理炉や乾燥炉の真空度を高精度モニタリングできるキャパシタンスマノメーター「ＶＧ―２００シリーズ＝写真」を出展する。自己温調型では最小クラスの隔膜式真空計で、独自の電極構造で高精度、高安定が特徴。耐食性に優れたニッケル合金をダイヤフラムに採用している。

【アルバック／高速排気のドライ真空ポンプ】

アルバックは真空装置、コンポーネント、材料、分析機器など多様な真空技術を幅広い業界向けに提供する。今回はドライ真空ポンプ「ＬＳシリーズ」を紹介する。ドライ真空ポンプは消費電力が低い半面、大気圧付近の排気速度が小さく廃棄時間が長くなる課題があった。ＬＳシリーズは課題を解決し、高速排気と低消費電力を両立した。