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記事検索結果
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ホシデンは、高い音圧を入力した時の歪みが少ないアナログ微小電気機械システム(MEMS)マイクロホンユニットを開発した。
東京工業大学異種機能集積研究センターの益一哉所長・教授、山根大輔助教、町田克之連携教授は、東京大学先端科学技術研究センターの年吉洋教授、NTTアドバンステクノロジと共同で、従来のシリコン微小電気機械シ...
日本電子材料は2014年、微小電気機械システム(MEMS)技術を用いた半導体試験装置のプローブカードでDRAM市場に参入する。... MEMSプローブカードの本格展開に伴い、年内にも本...
新ヘッドは微小電気機械システム(MEMS)技術を使い、1列当たりのインクを吐出するノズル数を大幅に増やした。
【念願のMEMS】 「どうしても微小電気機械システム(MEMS)技術が欲しかった」―。... 念願のMEMS技術を手に入れた。... ただ「(精度では)...
同プロセッサーからの採用を安定化しつつ、その上に重ねるメモリーやパソコン用プロセッサー、圧電微小電気機械システム(MEMS)向けも開拓。
構造は簡単で、微小電気機械システム(MEMS)技術を適用し、半導体シリコン薄膜を載せ、その薄膜にシリコーンゴムを通じて力が加わると、微弱な電気抵抗が変化する仕組み。
【京都】村田製作所は微小電気機械システム(MEMS)を用いた静電容量型の気圧センサー(写真)を完成した。静電容量型MEMS技術の応用で、温度変化に伴って発生するノイズの...
微小粒子状物質「PM2・5」などを原因とする大気汚染の深刻化に加え、鳥インフルエンザの流行が背景にある。... 次世代ガスセンサーとして、微小電気機械システム(MEMS)を用いた小型か...
産業技術総合研究所と大日本印刷は、直径200ミリメートルの大口径ウエハー上に、一般的な圧電材料であるチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)薄膜を使った圧電微小電気機械システム(MEMS...
指の先ほどの基板に、機械部品や電子回路などを集積した微小電気機械システム(MEMS)。... 医療分野では最近、MEMSをセンサーなどの要素部品ではなく、3次元的な構造を持つシステムと...
スマートフォンなどに搭載される微小電気機械システム(MEMS)などは、部品内部に振動する水晶デバイスなどが存在するため、周囲と接触しない中空構造が必要となる。
【京都】サムコは27日、微小電気機械システム(MEMS)やシリコン貫通電極(TSV)の加工に適したシリコンエッチング装置の量産機「RIE―800iPBC=写真」...
パワー半導体、微小電気機械システム(MEMS)、タッチパネル、太陽光発電パネルといった成長分野での需要の伸びに備え、感光からメッキまでの露光工程に必要な装置を一括して提供できる体制にす...
微小電気機械システム(MEMS)技術とミニチュアベアリングの製造技術の組み合わせにより、最小で直径6ミリメートルと小型ながら1回転当たり約1万6000パルス の高分解能を実現し...
金属加工でも自動機が普及して久しいが、「どんなに良い機械でも、扱う人間の技能がしっかりしていないと、自動機の特性を引き出せない」と、小川社長は言い切る。 ... 検討しているのが微小...
真空チャンバー、試験体を搭載する小型カプセルを組み合わせたシステムで、携帯電話や自動車に搭載される角速度センサーや赤外線イメージセンサーなどの微小電気機械システム(MEMS)の気密性試...